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高阶精密型电动滑台

高精密滑台轨道方式使用线性滚珠循环式,传动方式-滚珠螺桿,透过钢珠在螺帽与螺桿之间做滚动接触,其定位精度与寿命较高,具备高速正逆向的传动及变换传动等特性,迴转间隙值小。
材质:不銹钢 - 特色耐腐蚀、耐热。

适用领域

  • 半导体设备:晶圆定位、光刻机对位系统。 
  • 光学仪器:雷射加工、检测与光纤耦合。
  • 精密机械:CNC主轴、自动化组装线。
  • 生医仪器:显微镜平台、药品分装机。
电动滑台
高阶精密型电动滑台
基本规格
表面处理
平行度 (μm)
精度等级
台面尺寸 (mm)
本体重量 (Kg)
传动方式
马达
类型 / 出轴型式
厂牌 / 型号
马达_类型/出轴型式
马达_厂牌/型号
类型 / 输出轴型号
X轴_行程
Y轴_行程
Z轴_行程
θx轴_行程(mm)
θy轴_行程(mm)
θz轴_行程(mm)
X轴_L
X轴_R
X轴_螺桿导程
X轴_减速比
X轴_东方电机规格
X轴_分解能
X轴_单向定位精度
X轴_反復定位精度
Y轴_L
Y轴_R
Y轴_螺桿导程
Y轴_减速比
Y轴_东方电机规格
Y轴_分解能
Y轴_单向定位精度
Y轴_反復定位精度
Z轴_L
Z轴_R
Z轴_螺桿导程
Z轴_减速比
Z轴_东方电机规格
Z轴_分解能
Z轴_单向定位精度
Z轴_反復定位精度
θx轴_L
θx轴_R
θx轴_螺桿导程
θx轴_减速比
θx轴_东方电机规格
θx轴_分解能
θx轴_单向定位精度
θx轴_反復定位精度
θy轴_L
θy轴_R
θy轴_螺桿导程
θy轴_减速比
θy轴_东方电机规格
θy轴_分解能
θy轴_单向定位精度
θy轴_反復定位精度
θz轴_L
θz轴_R
θz轴_螺桿导程
θz轴_减速比
θz轴_东方电机规格
θz轴_分解能
θz轴_单向定位精度
θz轴_反復定位精度
滑台材质
移动行程 (°)
轨道
本体重量 (Kg)
联轴器
出线型式(接头型)
解析度(脉冲) (°)
最高速度(全步级) (°/sec)
单向定位精度 (°)
荷重(水平安装) (Kgf)
平行度 (µm)
运动真直度 (µm)
运动平行度 (µm)
接头_滑台侧接头
接头_控制器侧接头
感测器
感测器_行程原点感测器
感测器_行程极限感测器
感测器_电源电压
感测器_控制输出
感测器_输出控制
马达接近原点感测器
移动行程 (mm)
移动行程 (30mm)_传动方式
移动行程 (30mm)_轨道
移动行程 (30mm)_滑台材质
移动行程 (30mm)_表面处理
移动行程 (30mm)_精度等级
移动行程 (30mm)_出线方向
移动行程 (30mm)_解析度(脉冲) (µm)
移动行程 (30mm)_最高速度(全步级) (mm/sec)
移动行程 (30mm)_单向定位精度 (µm)
移动行程 (30mm)_反復定位精度(µm)
移动行程 (30mm)_多点反復定位精度(µm)
移动行程 (30mm)_荷重(水平安装)(Kgf)
移动行程 (30mm)_空转(µm)
移动行程 (30mm)_力矩刚性
移动行程 (30mm)_仰俯 / 横摆
移动行程 (30mm)_平行度 (µm)
移动行程 (30mm)_运动真直度 (µm)
移动行程 (30mm)_运动平行度 (µm)
移动行程 (30mm)_马达_类型/出轴型式
移动行程 (30mm)_马达_厂牌/型号
移动行程 (30mm)_驱动器厂牌/型号
移动行程 (30mm)_接头_滑台侧接头
移动行程 (30mm)_接头_控制器侧接头
移动行程 (30mm)_感测器_行程原点感测器
移动行程 (30mm)_感测器_行程极限感测器
移动行程 (30mm)_感测器_马达接近原点感测器
移动行程 (30mm)_感测器_电源电压
移动行程 (30mm)_感测器_控制输出
移动行程 (30mm)_感测器_输出控制
移动行程 (50mm)_传动方式
移动行程 (50mm)_轨道
移动行程 (50mm)_滑台材质
移动行程 (50mm)_表面处理
移动行程 (50mm)_精度等级
移动行程 (50mm)_出线方向
移动行程 (50mm)_解析度(脉冲) (µm)
移动行程 (50mm)_最高速度(全步级) (mm/sec)
移动行程 (50mm)_单向定位精度 (µm)
移动行程 (50mm)_反復定位精度(µm)
移动行程 (50mm)_多点反復定位精度(µm)
移动行程 (50mm)_荷重(水平安装)(Kgf)
移动行程 (50mm)_空转(µm)
移动行程 (50mm)_力矩刚性
移动行程 (50mm)_仰俯 / 横摆
移动行程 (50mm)_平行度 (µm)
移动行程 (50mm)_运动真直度 (µm)
移动行程 (50mm)_运动平行度 (µm)
移动行程 (50mm)_马达_类型/出轴型式
移动行程 (50mm)_马达_厂牌/型号
移动行程 (50mm)_驱动器厂牌/型号
移动行程 (50mm)_接头_滑台侧接头
移动行程 (50mm)_接头_控制器侧接头
移动行程 (50mm)_感测器_行程原点感测器
移动行程 (50mm)_感测器_行程极限感测器
移动行程 (50mm)_感测器_马达接近原点感测器
移动行程 (50mm)_感测器_电源电压
移动行程 (50mm)_感测器_控制输出
移动行程 (50mm)_感测器_输出控制
移动行程 (75mm)_传动方式
移动行程 (75mm)_轨道
移动行程 (75mm)_滑台材质
移动行程 (75mm)_表面处理
移动行程 (75mm)_精度等级
移动行程 (75mm)_出线方向
移动行程 (75mm)_解析度(脉冲) (µm)
移动行程 (75mm)_最高速度(全步级) (mm/sec)
移动行程 (75mm)_单向定位精度 (µm)
移动行程 (75mm)_反復定位精度(µm)
移动行程 (75mm)_多点反復定位精度(µm)
移动行程 (75mm)_荷重(水平安装)(Kgf)
移动行程 (75mm)_空转(µm)
移动行程 (75mm)_力矩刚性
移动行程 (75mm)_仰俯 / 横摆
移动行程 (75mm)_平行度 (µm)
移动行程 (75mm)_运动真直度 (µm)
移动行程 (75mm)_运动平行度 (µm)
移动行程 (75mm)_马达_类型/出轴型式
移动行程 (75mm)_马达_厂牌/型号
移动行程 (75mm)_驱动器厂牌/型号
移动行程 (75mm)_接头_滑台侧接头
移动行程 (75mm)_接头_控制器侧接头
移动行程 (75mm)_感测器_行程原点感测器
移动行程 (75mm)_感测器_行程极限感测器
移动行程 (75mm)_感测器_马达接近原点感测器
移动行程 (75mm)_感测器_电源电压
移动行程 (75mm)_感测器_控制输出
移动行程 (75mm)_感测器_输出控制
移动行程 (100mm)_传动方式
移动行程 (100mm)_轨道
移动行程 (100mm)_滑台材质
移动行程 (100mm)_表面处理
移动行程 (100mm)_精度等级
移动行程 (100mm)_出线方向
移动行程 (100mm)_解析度(脉冲) (µm)
移动行程 (100mm)_最高速度(全步级) (mm/sec)
移动行程 (100mm)_单向定位精度 (µm)
移动行程 (100mm)_反復定位精度(µm)
移动行程 (100mm)_多点反復定位精度(µm)
移动行程 (100mm)_荷重(水平安装)(Kgf)
移动行程 (100mm)_空转(µm)
移动行程 (100mm)_力矩刚性
移动行程 (100mm)_仰俯 / 横摆
移动行程 (100mm)_平行度 (µm)
移动行程 (100mm)_运动真直度 (µm)
移动行程 (100mm)_运动平行度 (µm)
移动行程 (100mm)_马达_类型/出轴型式
移动行程 (100mm)_马达_厂牌/型号
移动行程 (100mm)_驱动器厂牌/型号
移动行程 (100mm)_接头_滑台侧接头
移动行程 (100mm)_接头_控制器侧接头
移动行程 (100mm)_感测器_行程原点感测器
移动行程 (100mm)_感测器_行程极限感测器
移动行程 (100mm)_感测器_马达接近原点感测器
移动行程 (100mm)_感测器_电源电压
移动行程 (100mm)_感测器_控制输出
移动行程 (100mm)_感测器_输出控制
移动行程 (30mm)_轨道
移动行程 (30mm)_滑台材质
移动行程 (30mm)_表面处理
移动行程 (30mm)_精度等级
移动行程 (30mm)_出线方向
移动行程 (30mm)_解析度(脉冲) (µm)
移动行程 (30mm)_解析度(脉冲) (µm)
移动行程 (30mm)_最高速度(全步级) (mm/sec)
移动行程 (30mm)_单向定位精度 (µm)
移动行程 (30mm)_反復定位精度(µm)
移动行程 (30mm)_多点反復定位精度(µm)
移动行程 (30mm)_荷重(水平安装)(Kgf)
移动行程 (30mm)_空转(µm)
移动行程 (30mm)_力矩刚性
移动行程 (30mm)_仰俯 / 横摆
移动行程 (30mm)_平行度 (µm)
移动行程 (30mm)_运动真直度 (µm)
移动行程 (30mm)_运动平行度 (µm)
移动行程 (30mm)_马达_类型/出轴型式
移动行程 (30mm)_马达_厂牌/型号
移动行程 (30mm)_驱动器厂牌/型号
移动行程 (30mm)_接头_滑台侧接头
移动行程 (30mm)_接头_控制器侧接头
移动行程 (30mm)_感测器_行程原点感测器
移动行程 (30mm)_感测器_行程极限感测器
移动行程 (30mm)_感测器_马达接近原点感测器
移动行程 (30mm)_感测器_电源电压
移动行程 (30mm)_感测器_控制输出
移动行程 (30mm)_感测器_输出控制
移动行程 (30mm)_传动方式
出线方向
解析度(脉冲) (µm)
最高速度(全步级) (mm/sec)
单向定位精度 (µm)
反復定位精度 (µm)
空转 (µm)
迴转中心高度 (mm)
力矩刚性
仰俯 / 横摆
行程原点感测器
行程极限感测器
电源电压
控制输出
输出控制
驱动器厂牌/型号
檯面尺寸(mm)
本体重量
反復定位精度(°)
荷重(水平安装)(Kgf)
空转
平行度(μm)
运动同心度 (μm)
运动平行度 (μm)
本体重量 (Kgs)
反復定位精度(µm)
空转(µm)
迴转中心精度
平行度(µm)
多点反復定位精度(µm)
联轴器型号
反复定位精度(µm)
驱动器 厂牌 / 型号
接头型式
直交度(双轴精度规格) (µm)
反覆定位精度(µm)
感测器电源电压
马达_类型/出轴型式
马达_厂牌/型号
接头_滑台侧接头
接头_控制器侧接头
感测器_电源电压
感测器_控制输出
感测器_输出控制
马达_类型 / 出轴型式
马达_厂牌 / 型号
驱动器_厂牌 / 型号
感测器_行程原点感测器
感测器_行程极限感测器
感测器_马达接近原点感测器
移动行程(°)
驱动器_厂牌/型号
马达接近原点感测器
类型/出轴型式
厂牌/型号
本体重量(Kgf)
空转(°)
运动垂直度 (µm)