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对位平台

对位平台是一种高精度自动化设备,利用 XY 方向移动单元结合 θ 角微调旋转,将两个工件精准对齐组合。

主要包括 X 向与 Y 向直线模组、旋转机构及动力装置,如伺服马达与导轨。常见类型有 XYθ平台 (基本叠加移动与旋转)、XYY 平台 (单 X 双 Y 实现角度补正) 及 UVW 平台 (更高精度多轴叠加)。

广泛用于半导体晶圆对位、LCD 面板贴合、晶圆对准、LCD 贴膜、PCB 曝光、智慧型手机零件组装、相机模组调芯、光电元件测试及光纤耦合,提升生产良率。

对位平台