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高階精密型電動滑台

高精密滑台軌道方式使用線性滾珠循環式,傳動方式-滾珠螺桿,透過鋼珠在螺帽與螺桿之間做滾動接觸,其定位精度與壽命較高,具備高速正逆向的傳動及變換傳動等特性,迴轉間隙值小。
材質:不銹鋼 - 特色耐腐蝕、耐熱。

適用領域

  • 半導體設備:晶圓定位、光刻機對位系統。 
  • 光學儀器:雷射加工、檢測與光纖耦合。
  • 精密機械:CNC主軸、自動化組裝線。
  • 生醫儀器:顯微鏡平台、藥品分裝機。
電動滑台
高階精密型電動滑台
基本規格
表面處理
平行度 (μm)
精度等級
台面尺寸 (mm)
本體重量 (kg)
傳動方式
馬達
類型 / 出軸型式
廠牌 / 型號
馬達_類型/出軸型式
馬達_廠牌/型號
類型 / 輸出軸型號
X軸_行程
Y軸_行程
Z軸_行程
θx軸_行程(mm)
θy軸_行程(mm)
θz軸_行程(mm)
X軸_L
X軸_R
X軸_螺桿導程
X軸_減速比
X軸_東方電機規格
X軸_分解能
X軸_單向定位精度
X軸_反復定位精度
Y軸_L
Y軸_R
Y軸_螺桿導程
Y軸_減速比
Y軸_東方電機規格
Y軸_分解能
Y軸_單向定位精度
Y軸_反復定位精度
Z軸_L
Z軸_R
Z軸_螺桿導程
Z軸_減速比
Z軸_東方電機規格
Z軸_分解能
Z軸_單向定位精度
Z軸_反復定位精度
θx軸_L
θx軸_R
θx軸_螺桿導程
θx軸_減速比
θx軸_東方電機規格
θx軸_分解能
θx軸_單向定位精度
θx軸_反復定位精度
θy軸_L
θy軸_R
θy軸_螺桿導程
θy軸_減速比
θy軸_東方電機規格
θy軸_分解能
θy軸_單向定位精度
θy軸_反復定位精度
θz軸_L
θz軸_R
θz軸_螺桿導程
θz軸_減速比
θz軸_東方電機規格
θz軸_分解能
θz軸_單向定位精度
θz軸_反復定位精度
滑台材質
移動行程 (°)
軌道
本體重量 (Kg)
聯軸器
出線型式(接頭型)
解析度(脈衝) (°)
最高速度(全步級) (°/sec)
單向定位精度 (°)
荷重(水平安裝) (Kgf)
平行度 (µm)
運動真直度 (µm)
運動平行度 (µm)
接頭_滑台側接頭
接頭_控制器側接頭
感測器
感測器_行程原點感測器
感測器_行程極限感測器
感測器_電源電壓
感測器_控制輸出
感測器_輸出控制
馬達接近原點感測器
移動行程 (mm)
移動行程 (30mm)_傳動方式
移動行程 (30mm)_軌道
移動行程 (30mm)_滑台材質
移動行程 (30mm)_表面處理
移動行程 (30mm)_精度等級
移動行程 (30mm)_出線方向
移動行程 (30mm)_解析度(脈衝) (µm)
移動行程 (30mm)_最高速度(全步級) (mm/sec)
移動行程 (30mm)_單向定位精度 (µm)
移動行程 (30mm)_反復定位精度(µm)
移動行程 (30mm)_多點反復定位精度(µm)
移動行程 (30mm)_荷重(水平安裝)(Kgf)
移動行程 (30mm)_空轉(µm)
移動行程 (30mm)_力矩剛性
移動行程 (30mm)_仰俯 / 橫擺
移動行程 (30mm)_平行度 (µm)
移動行程 (30mm)_運動真直度 (µm)
移動行程 (30mm)_運動平行度 (µm)
移動行程 (30mm)_馬達_類型/出軸型式
移動行程 (30mm)_馬達_廠牌/型號
移動行程 (30mm)_驅動器廠牌/型號
移動行程 (30mm)_接頭_滑台側接頭
移動行程 (30mm)_接頭_控制器側接頭
移動行程 (30mm)_感測器_行程原點感測器
移動行程 (30mm)_感測器_行程極限感測器
移動行程 (30mm)_感測器_馬達接近原點感測器
移動行程 (30mm)_感測器_電源電壓
移動行程 (30mm)_感測器_控制輸出
移動行程 (30mm)_感測器_輸出控制
移動行程 (50mm)_傳動方式
移動行程 (50mm)_軌道
移動行程 (50mm)_滑台材質
移動行程 (50mm)_表面處理
移動行程 (50mm)_精度等級
移動行程 (50mm)_出線方向
移動行程 (50mm)_解析度(脈衝) (µm)
移動行程 (50mm)_最高速度(全步級) (mm/sec)
移動行程 (50mm)_單向定位精度 (µm)
移動行程 (50mm)_反復定位精度(µm)
移動行程 (50mm)_多點反復定位精度(µm)
移動行程 (50mm)_荷重(水平安裝)(Kgf)
移動行程 (50mm)_空轉(µm)
移動行程 (50mm)_力矩剛性
移動行程 (50mm)_仰俯 / 橫擺
移動行程 (50mm)_平行度 (µm)
移動行程 (50mm)_運動真直度 (µm)
移動行程 (50mm)_運動平行度 (µm)
移動行程 (50mm)_馬達_類型/出軸型式
移動行程 (50mm)_馬達_廠牌/型號
移動行程 (50mm)_驅動器廠牌/型號
移動行程 (50mm)_接頭_滑台側接頭
移動行程 (50mm)_接頭_控制器側接頭
移動行程 (50mm)_感測器_行程原點感測器
移動行程 (50mm)_感測器_行程極限感測器
移動行程 (50mm)_感測器_馬達接近原點感測器
移動行程 (50mm)_感測器_電源電壓
移動行程 (50mm)_感測器_控制輸出
移動行程 (50mm)_感測器_輸出控制
移動行程 (75mm)_傳動方式
移動行程 (75mm)_軌道
移動行程 (75mm)_滑台材質
移動行程 (75mm)_表面處理
移動行程 (75mm)_精度等級
移動行程 (75mm)_出線方向
移動行程 (75mm)_解析度(脈衝) (µm)
移動行程 (75mm)_最高速度(全步級) (mm/sec)
移動行程 (75mm)_單向定位精度 (µm)
移動行程 (75mm)_反復定位精度(µm)
移動行程 (75mm)_多點反復定位精度(µm)
移動行程 (75mm)_荷重(水平安裝)(Kgf)
移動行程 (75mm)_空轉(µm)
移動行程 (75mm)_力矩剛性
移動行程 (75mm)_仰俯 / 橫擺
移動行程 (75mm)_平行度 (µm)
移動行程 (75mm)_運動真直度 (µm)
移動行程 (75mm)_運動平行度 (µm)
移動行程 (75mm)_馬達_類型/出軸型式
移動行程 (75mm)_馬達_廠牌/型號
移動行程 (75mm)_驅動器廠牌/型號
移動行程 (75mm)_接頭_滑台側接頭
移動行程 (75mm)_接頭_控制器側接頭
移動行程 (75mm)_感測器_行程原點感測器
移動行程 (75mm)_感測器_行程極限感測器
移動行程 (75mm)_感測器_馬達接近原點感測器
移動行程 (75mm)_感測器_電源電壓
移動行程 (75mm)_感測器_控制輸出
移動行程 (75mm)_感測器_輸出控制
移動行程 (100mm)_傳動方式
移動行程 (100mm)_軌道
移動行程 (100mm)_滑台材質
移動行程 (100mm)_表面處理
移動行程 (100mm)_精度等級
移動行程 (100mm)_出線方向
移動行程 (100mm)_解析度(脈衝) (µm)
移動行程 (100mm)_最高速度(全步級) (mm/sec)
移動行程 (100mm)_單向定位精度 (µm)
移動行程 (100mm)_反復定位精度(µm)
移動行程 (100mm)_多點反復定位精度(µm)
移動行程 (100mm)_荷重(水平安裝)(Kgf)
移動行程 (100mm)_空轉(µm)
移動行程 (100mm)_力矩剛性
移動行程 (100mm)_仰俯 / 橫擺
移動行程 (100mm)_平行度 (µm)
移動行程 (100mm)_運動真直度 (µm)
移動行程 (100mm)_運動平行度 (µm)
移動行程 (100mm)_馬達_類型/出軸型式
移動行程 (100mm)_馬達_廠牌/型號
移動行程 (100mm)_驅動器廠牌/型號
移動行程 (100mm)_接頭_滑台側接頭
移動行程 (100mm)_接頭_控制器側接頭
移動行程 (100mm)_感測器_行程原點感測器
移動行程 (100mm)_感測器_行程極限感測器
移動行程 (100mm)_感測器_馬達接近原點感測器
移動行程 (100mm)_感測器_電源電壓
移動行程 (100mm)_感測器_控制輸出
移動行程 (100mm)_感測器_輸出控制
移動行程 (30mm)_軌道
移動行程 (30mm)_滑台材質
移動行程 (30mm)_表面處理
移動行程 (30mm)_精度等級
移動行程 (30mm)_出線方向
移動行程 (30mm)_解析度(脈衝) (µm)
移動行程 (30mm)_解析度(脈衝) (µm)
移動行程 (30mm)_最高速度(全步級) (mm/sec)
移動行程 (30mm)_單向定位精度 (µm)
移動行程 (30mm)_反復定位精度(µm)
移動行程 (30mm)_多點反復定位精度(µm)
移動行程 (30mm)_荷重(水平安裝)(Kgf)
移動行程 (30mm)_空轉(µm)
移動行程 (30mm)_力矩剛性
移動行程 (30mm)_仰俯 / 橫擺
移動行程 (30mm)_平行度 (µm)
移動行程 (30mm)_運動真直度 (µm)
移動行程 (30mm)_運動平行度 (µm)
移動行程 (30mm)_馬達_類型/出軸型式
移動行程 (30mm)_馬達_廠牌/型號
移動行程 (30mm)_驅動器廠牌/型號
移動行程 (30mm)_接頭_滑台側接頭
移動行程 (30mm)_接頭_控制器側接頭
移動行程 (30mm)_感測器_行程原點感測器
移動行程 (30mm)_感測器_行程極限感測器
移動行程 (30mm)_感測器_馬達接近原點感測器
移動行程 (30mm)_感測器_電源電壓
移動行程 (30mm)_感測器_控制輸出
移動行程 (30mm)_感測器_輸出控制
移動行程 (30mm)_傳動方式
出線方向
解析度(脈衝) (µm)
最高速度(全步級) (mm/sec)
單向定位精度 (µm)
反復定位精度 (µm)
空轉 (µm)
迴轉中心高度 (mm)
力矩剛性
仰俯 / 橫擺
行程原點感測器
行程極限感測器
電源電壓
控制輸出
輸出控制
驅動器廠牌/型號
檯面尺寸(mm)
本體重量
反復定位精度(°)
荷重(水平安裝)(Kgf)
空轉
平行度(μm)
運動同心度 (μm)
運動平行度 (μm)
本體重量 (Kgs)
反復定位精度(µm)
空轉(µm)
迴轉中心精度
平行度(µm)
多點反復定位精度(µm)
聯軸器型號
反複定位精度(µm)
驅動器 廠牌 / 型號
接頭型式
直交度(雙軸精度規格) (µm)
反覆定位精度(µm)
感測器電源電壓
馬達_類型/出軸型式
馬達_廠牌/型號
接頭_滑台側接頭
接頭_控制器側接頭
感測器_電源電壓
感測器_控制輸出
感測器_輸出控制
馬達_類型 / 出軸型式
馬達_廠牌 / 型號
驅動器_廠牌 / 型號
感測器_行程原點感測器
感測器_行程極限感測器
感測器_馬達接近原點感測器
移動行程(°)
驅動器_廠牌/型號
馬達接近原點感測器
類型/出軸型式
廠牌/型號
本體重量(Kgf)
空轉(°)
運動垂直度 (µm)