半導體
適用於以下應用:
隨著製程數量的增加,每一步的微小誤差都會逐漸累積,最終可能導致晶片的良率接近於零。
因此,為了確保最終產品的質量,半導體廠商必須對每一個製程進行嚴格的品質控管。檢測與製程控制已成為現代半導體製造成功的核心要素。
在半導體製造過程中,晶圓的外觀會因為任何微小的變形而對最終產品的效能和良率產生深遠影響。例如,晶圓可能會因彎曲或支撐晶圓的卡盤接觸點產生刮痕或裂紋,這些微小缺陷將直接影響到後續奈米級製程的準確與可靠性。
透過 AOI(Automated Optical Inspection)自動光學檢查過程中,光學鏡頭等檢測儀器需要在納米級的尺度上進行高精度的測量。為了準確檢測晶圓 / 晶片表面細節,必須依賴高階精密定位控制技術來移動晶圓 / 晶片或檢測鏡頭,使它們能夠穩定且精確對準待測區域。
高精密定位技術在先進封裝和半導體製造過程中扮演關鍵角色,尤其是進行晶片封裝和測試。
由於 AI 需求爆發,先進晶片需同時達到高速和節能以及成本控制,先進封裝亦成為全球主流。尺寸的縮小和功能複雜性的提升,製程中的奈米級定位精度成為必要,以確保每個晶片中的線路能夠準確地堆疊,避免任何細微的錯位造成損耗,才能提高生產效率。
先進封裝技術在半導體產業中扮演著重要角色,隨著晶片尺寸越來越小,在堆疊過程中對裸晶的平整度和晶片的對位精準度有著奈米級嚴格要求,若精度稍有不慎偏差則失之毫、釐差之千里,將影響整體性能與良率。除此之外,在堆疊前若沒有做好已知合格裸晶測試(known good die testing)更是白費了先進封裝製程,所以從矽光晶圓(Wafer)到晶片(Chip)必須經過嚴謹的光測 / 電測、外觀等檢測,確保品質效能與可靠度,提升良率、降低成本。高明鐵在半導體產業的製程中,提供了光測、電測、外觀檢測、先進封裝等奈米級高精密定位控制技術與手、電動滑台產品,為客戶提供最佳的解決方案。
