半導體、光通訊解決方案
雷射二極體雙透鏡主動對位耦合設備 Dual LD Lens Active Aligner
功能
‧雙透鏡耦合
‧透鏡與光子積體電路耦合對位
‧透鏡耦合對位後以UV光固化膠固化
主要特點
‧傳送端點亮
‧高精度滑台用於X/Y/Z軸向之對位耦合
‧可同步進行雙透鏡的耦合對位
‧可線上監測並可將數據上傳到資料庫
‧雙透鏡耦合
‧透鏡與光子積體電路耦合對位
‧透鏡耦合對位後以UV光固化膠固化
主要特點
‧傳送端點亮
‧高精度滑台用於X/Y/Z軸向之對位耦合
‧可同步進行雙透鏡的耦合對位
‧可線上監測並可將數據上傳到資料庫
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產品概述
更新日期：2025.04.08
產品說明
工作站特色
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工作站 |
功能 |
主要特點 |
| 透鏡 耦合對位 |
‧雙透鏡耦合 ‧透鏡與光子積體電路耦合對位 ‧透鏡耦合對位後以UV光固化膠固化 |
‧傳送端點亮 ‧高精度滑台用於X/Y/Z軸向之對位耦合 ‧可同步進行雙透鏡的耦合對位 ‧可線上監測並可將數據上傳到資料庫 |
主要設備
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設備 |
關鍵參數 |
| 對位設備 | •X/Y/Z 軸解析度 10nm ‧X/Y/Z 軸重複定位精度 ±50nm |
設定規範
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類別 |
項目 |
規格參數 |
| 設備尺寸及動力 | 輸入電力 | 220V 50/60 Hz |
| 壓縮空氣 | 壓縮空氣量>2LPM; 供氣系統壓力0.6MPa~0.7MPa | |
| 真空設備 | 真空泵保證真空度-80kPa以上 | |
| 環境要求 | 溫度：15-35°C；相對濕度：70%@32°C； 無塵室等級：Class 100k | |
| 尺寸要求 | 1200mm*1000mm*2000mm | |
| 設備重量 | 1100-1250kg | |
| 設備安規 | 產品安全防禦 | 產品接觸接地處理 |
| ESD防護 | 離子風機除靜電 | |
| 軟件防護 | 防呆設計 | |
| 設備防護 | 設備軸程限位+距離感測，防碰撞 | |
| 操作人員安全防護 | 護目鏡 | |
| 耦合模組 | 控制軸數 | 雙6軸 |
| 工件夾持方式 | 電動夾爪、真空吸嘴固定 | |
| 單軸重複定位精度 XYZ驅動形式 |
±0.05μm 步進電機+螺桿 |
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| θx | 手動滑台 | |
| 高精度耦合滑台基本參數 θY/θZ |
自動滑台重複精度±0.001° | |
| 點膠模組 | 結構形式 | 氣缸伸縮頂部供給 (XY手動滑台固定位置) |
| 加膠方式 | 底部點加膠 | |
| 點膠機 | 雙點膠機, 武藏高精密點膠機單點式(膠針); 支持3mL, 其他容量可定制 | |
| 給電方式 | Socket連接 | 自動對位 |
| 供料 | Lens料盒 | 32pc雙Lens料盒 |
| PCB | 單PCB載具氣動夾緊 | |
| 照膠固化UV | UV型號 | HOYA波長365nm LED固化鏡頭x4 |
| 控制軸數 | 6軸集成在於左側耦合軸 | |
| 視覺系統 | 相機數量 | 2 |
| 視覺辨識 | 自動對位; 500萬畫素 CCD; 視野範圍5.6x4.7mm; 解析度 1.4μm; 景深 0.3mm | |
| 相機軸數 | 3軸；XYZ電機+螺桿 | |
| 耦合工藝 | 耦合穩定性 (多次耦合差異值) | ＜±5% |
| 自動貼平 | 自動模組調平 | |
| 耦合高度控制 | 壓力測高 | |
| CT | < 200 sec/channel (具體根據客戶工藝待定） | |
軟體 |
程式語言 | LabVIEW |
| 資料綁定 | 可錄入生產工單、產品條碼 | |
| 儲存 | 生產數據可保存 | |
| 程式調用 | 程式庫可同時保存多種型號產品耦合程序，方便隨時調用 | |
| 源表 |
電源型號 | Keysight E3646A (型號將依最後產品規格做調整) |
| 電壓/電流範圍 | Keysight (0-8V,3A/0-20V,1.5A) | |
| 測量分辨率 | 電壓 <0.05%+5mV / 電流 <0.15% + 5mA |
