半導體、光通訊解決方案
全自動雙FA耦合機 Fully Automation for HVM Lines solution
功能
‧雙光纖陣列接收端對位耦合
‧自動上下料（料籠）
‧自動插拔MPO連接器，自動檢查，自動清潔
‧自動點膠，自動UV固化
主要特點
‧ RSSI ADC
‧高精度滑台用于X/Y/Z軸之耦合
‧可線上監測並可將數據上傳到資料庫
‧雙光纖陣列接收端對位耦合
‧自動上下料（料籠）
‧自動插拔MPO連接器，自動檢查，自動清潔
‧自動點膠，自動UV固化
主要特點
‧ RSSI ADC
‧高精度滑台用于X/Y/Z軸之耦合
‧可線上監測並可將數據上傳到資料庫
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產品概述
更新日期：2026.01.28
工作站特色
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工作站 |
功能 |
主要特點 |
| 光纖陣列 對位耦合 |
‧雙光纖陣列接收端對位耦合 ‧自動上下料（料籠） ‧自動插拔MPO連接器，自動檢查，自動清潔 ‧自動點膠，自動UV固化 |
‧ RSSI ADC ‧高精度滑台用于X/Y/Z軸之耦合 ‧可線上監測並可將數據上傳到資料庫 |
主要設備
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設備 |
關鍵參數 |
| 對位設備 | •X/Y/Z 軸解析度 10nm ‧X/Y/Z 軸重複定位精度 ±50nm |
設定規範
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類別 |
項目 |
規格參數 |
| 設備尺寸及動力 | 輸入電力 | 220V 50/60 Hz |
| 壓縮空氣 | 壓縮空氣量>2LPM; 供氣系統壓力0.6MPa~0.7MPa | |
| 真空設備 | 真空泵保證真空度-80kPa以上 | |
| 環境要求 | 溫度：15-35°C；相對濕度：70%@32°C； 無塵室等級：Class 100k | |
| 尺寸要求 | 1200mm×1300mm×2000mm（中間）；510mmX920mmX1700mm（兩側） | |
| 設備重量 | 1400-1600kg | |
| 設備安規 | 產品安全防禦 | 產品接觸接地處理 |
| ESD防護 | 離子風機除靜電 | |
| 軟件防護 | 防呆設計 | |
| 設備防護 | 設備軸程限位+距離感測，防碰撞 | |
| 操作人員安全防護 | 護目鏡 | |
| 耦合模組 | 控制軸數 | 雙6軸 |
| 工件夾持方式 | 電動夾爪、真空吸嘴固定 | |
| 單軸重複定位精度 XYZ驅動形式 |
±0.05μm 步進電機+螺桿 |
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| θx | 電動滑台 | |
| 高精度耦合滑台基本參數 θY/θZ |
自動滑台重複精度±0.001° | |
| 點膠模組 | 結構形式 | XYZ+氣缸伸縮頂部供給 |
| 加膠方式 | 頂部加膠; 支援點, 線 | |
| 點膠機 | 武藏高精密點膠機單點式(膠針), 容量3mL, 其他容量可定制 | |
| 給電方式 | Socket連接 | 自動對位 |
| 供料 | FA Tray | 雙MPO雙FA |
| PCB Tray | 單PCB載具氣動夾緊 | |
| 照膠固化UV | UV型號 | HOYA波長365nm LED固化鏡頭 |
| 控制軸數 | 3軸XYZ+伸縮氣缸 | |
| 視覺系統 | 相機數量 | 6 |
| 視覺辨識 | 自動對位; 500萬畫素 CCD; 解析度 1.4μm; 景深 0.3mm | |
| 相機軸數 | 3軸；XYZ電機+螺桿 | |
| 耦合工藝 | 耦合穩定性 (多次耦合差異值) | ＜±5% |
| 自動貼平 | 自動模組調平 | |
| 耦合高度控制 | 壓力測高 | |
| CT | < 180 秒/顆(不含UV固化時間, 具體根據客戶工藝待定） | |
| 軟體 |
程式語言 | LabVIEW |
| 資料綁定 | 可錄入生產工單、產品條碼 | |
| 儲存 | 生產數據可保存 | |
| 程式調用 | 程式庫可同時保存多種型號產品耦合程序，方便隨時調用 | |
| 源表 |
電源型號 | Keysight E3646A (型號將依最後產品規格做調整) |
| 電壓/電流範圍 | Keysight (0-8V,3A/0-20V,1.5A) | |
| 測量分辨率 | 電壓 <0.05%+5mV / 電流 <0.15% + 5mA | |
| 光源 | 光源型號 | Santec(TSL-570A-P) (型號將依最後產品規格做調整) |
| 性能 |
200 nm/s 快速掃描 高精度(± 2 pm) 和分辨率(0.1 pm) 密封腔確保每個波長的穩定性 從1240 到1680 nm 的多種波長選項 微調掃描範圍10 GHz |
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| 光功率計 | 型號 | Santec MPM-220 系列 (型號將依最後產品規格做調整) |
| 探頭性能 | 840 - 1700 nm ，-80- +8 dBm可選配 |
