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XYZ 三轴运动模组

XYZ 三轴运动模组

  • 採用模组块堆叠方式组合,能依据客户需求,做多样式配置。

  • 直驱模块搭配高刚性导轨和高性能驱动器,模组可达到百奈米级的重复和定位精度。

  • 可广泛应用于光纤耦合、精密检测、半导体检测、IC封装设备、物件量测、微型工程等范围。

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    共计2种型号
    型号 GNTXYZ-100-100-60 GNTXYZ-160-160-60
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    X轴_负载 Y+Z+10 kg Y+Z+10 kg
    X轴_行程 100 mm 160 mm
    X轴_定位精度/转角精度 ± 0.3 µm ± 0.3 µm
    X轴_重复精度 ± 0.15 µm ± 0.15 µm
    X轴_XY正交 15 are-sec 15 are-sec
    X轴_YZ正交 -- --
    X轴_连续推力 26.7 N 26.7 N
    X轴_瞬时推力 133.4 N 133.4 N
    X轴_连续电流 1.6 Arms 1.6 Arms
    X轴_瞬时电流 8 Arms 8 Arms
    X轴_线马电阻 8.3 ohms 8.3 ohms
    X轴_线马电感 1.8 mH 1.8 mH
    X轴_电气时间常数 0.21ms 0.21ms
    X轴_反电动势常数 13.9 V/(m/s) 13.9 V/(m/s)
    X轴_光学尺类别 增量,类比(20 nm) 增量,类比(20 nm)
    Y轴_负载 Z+10 kg Z+10 kg
    Y轴_行程 100 mm 160 mm
    Y轴_定位精度/转角精度 ± 0.3 µm ± 0.3 µm
    Y轴_重复精度 ± 0.15 µm ± 0.15 µm
    Y轴_XY正交 15 are-sec 15 are-sec
    Y轴_YZ正交 15 are-sec 15 are-sec
    Y轴_连续推力 26.7 N 26.7 N
    Y轴_瞬时推力 133.4 N 133.4 N
    Y轴_连续电流 1.6 Arms 1.6 Arms
    Y轴_瞬时电流 8 Arms 8 Arms
    Y轴_线马电阻 8.3 ohms 8.3 ohms
    Y轴_线马电感 1.8 mH 1.8 mH
    Y轴_电气时间常数 0.21ms 0.21ms
    Y轴_反电动势常数 13.9 V/(m/s) 13.9 V/(m/s)
    Y轴_光学尺类别 增量,类比 (20 nm) 增量,类比(20 nm)
    Z轴_负载 10 kg 10 kg
    Z轴_行程 60 mm  60 mm
    Z轴_定位精度/转角精度 ± 0.3 µm ± 0.3 µm
    Z轴_重复精度 ± 0.15 µm ± 0.15 µm
    Z轴_XY正交 -- --
    Z轴_YZ正交 15 are-sec 15 are-sec
    Z轴_连续推力 26.7 N 26.7 N
    Z轴_瞬时推力 133.4 N 133.4 N
    Z轴_连续电流 1.6 Arms 1.6 Arms
    Z轴_瞬时电流 8 Arms 8 Arms
    Z轴_线马电阻 8.3 ohms 8.3 ohms
    Z轴_线马电感 1.8 mH 1.8 mH
    Z轴_电气时间常数 0.21ms 0.21ms
    Z轴_反电动势常数 13.9 V/(m/s) 13.9 V/(m/s)
    Z轴_光学尺类别 增量,类比(20 nm) 增量,类比(20 nm)

    型号

    GNTXYZ-100-100-60
    GNTXYZ-160-160-60
    基本规格
    X轴_负载
    X轴_行程
    X轴_定位精度/转角精度
    X轴_重复精度
    X轴_XY正交
    X轴_YZ正交
    X轴_连续推力
    X轴_瞬时推力
    X轴_连续电流
    X轴_瞬时电流
    X轴_线马电阻
    X轴_线马电感
    X轴_电气时间常数
    X轴_反电动势常数
    X轴_光学尺类别
    Y轴_负载
    Y轴_行程
    Y轴_定位精度/转角精度
    Y轴_重复精度
    Y轴_XY正交
    Y轴_YZ正交
    Y轴_连续推力
    Y轴_瞬时推力
    Y轴_连续电流
    Y轴_瞬时电流
    Y轴_线马电阻
    Y轴_线马电感
    Y轴_电气时间常数
    Y轴_反电动势常数
    Y轴_光学尺类别
    Z轴_负载
    Z轴_行程
    Z轴_定位精度/转角精度
    Z轴_重复精度
    Z轴_XY正交
    Z轴_YZ正交
    Z轴_连续推力
    Z轴_瞬时推力
    Z轴_连续电流
    Z轴_瞬时电流
    Z轴_线马电阻
    Z轴_线马电感
    Z轴_电气时间常数
    Z轴_反电动势常数
    Z轴_光学尺类别