直驅模組系列
XYZ 三軸運動模組
採用模組塊堆疊方式組合，能依據客戶需求，做多樣式配置。
直驅模塊搭配高剛性導軌和高性能驅動器，模組可達到百奈米級的重複和定位精度。
可廣泛應用於光纖耦合、精密檢測、半導體檢測、IC封裝設備、物件量測、微型工程等範圍。
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共計2種型號
| 型號 | GNTXYZ-100-100-60 | GNTXYZ-160-160-60 |
|---|---|---|
| 詢價 | 加入詢價車 | 加入詢價車 |
| X軸_負載 | Y+Z+10 kg | Y+Z+10 kg |
| X軸_行程 | 100 mm | 160 mm |
| X軸_定位精度/轉角精度 | ± 0.3 µm | ± 0.3 µm |
| X軸_重複精度 | ± 0.15 µm | ± 0.15 µm |
| X軸_XY正交 | 15 are-sec | 15 are-sec |
| X軸_YZ正交 | -- | -- |
| X軸_連續推力 | 26.7 N | 26.7 N |
| X軸_瞬時推力 | 133.4 N | 133.4 N |
| X軸_連續電流 | 1.6 Arms | 1.6 Arms |
| X軸_瞬時電流 | 8 Arms | 8 Arms |
| X軸_線馬電阻 | 8.3 ohms | 8.3 ohms |
| X軸_線馬電感 | 1.8 mH | 1.8 mH |
| X軸_電氣時間常數 | 0.21ms | 0.21ms |
| X軸_反電動勢常數 | 13.9 V/(m/s) | 13.9 V/(m/s) |
| X軸_光學尺類別 | 增量,類比(20 nm) | 增量,類比(20 nm) |
| Y軸_負載 | Z+10 kg | Z+10 kg |
| Y軸_行程 | 100 mm | 160 mm |
| Y軸_定位精度/轉角精度 | ± 0.3 µm | ± 0.3 µm |
| Y軸_重複精度 | ± 0.15 µm | ± 0.15 µm |
| Y軸_XY正交 | 15 are-sec | 15 are-sec |
| Y軸_YZ正交 | 15 are-sec | 15 are-sec |
| Y軸_連續推力 | 26.7 N | 26.7 N |
| Y軸_瞬時推力 | 133.4 N | 133.4 N |
| Y軸_連續電流 | 1.6 Arms | 1.6 Arms |
| Y軸_瞬時電流 | 8 Arms | 8 Arms |
| Y軸_線馬電阻 | 8.3 ohms | 8.3 ohms |
| Y軸_線馬電感 | 1.8 mH | 1.8 mH |
| Y軸_電氣時間常數 | 0.21ms | 0.21ms |
| Y軸_反電動勢常數 | 13.9 V/(m/s) | 13.9 V/(m/s) |
| Y軸_光學尺類別 | 增量,類比 (20 nm) | 增量,類比(20 nm) |
| Z軸_負載 | 10 kg | 10 kg |
| Z軸_行程 | 60 mm | 60 mm |
| Z軸_定位精度/轉角精度 | ± 0.3 µm | ± 0.3 µm |
| Z軸_重複精度 | ± 0.15 µm | ± 0.15 µm |
| Z軸_XY正交 | -- | -- |
| Z軸_YZ正交 | 15 are-sec | 15 are-sec |
| Z軸_連續推力 | 26.7 N | 26.7 N |
| Z軸_瞬時推力 | 133.4 N | 133.4 N |
| Z軸_連續電流 | 1.6 Arms | 1.6 Arms |
| Z軸_瞬時電流 | 8 Arms | 8 Arms |
| Z軸_線馬電阻 | 8.3 ohms | 8.3 ohms |
| Z軸_線馬電感 | 1.8 mH | 1.8 mH |
| Z軸_電氣時間常數 | 0.21ms | 0.21ms |
| Z軸_反電動勢常數 | 13.9 V/(m/s) | 13.9 V/(m/s) |
| Z軸_光學尺類別 | 增量,類比(20 nm) | 增量,類比(20 nm) |
型號
GNTXYZ-100-100-60
GNTXYZ-160-160-60
