次系统模组
GMT GSS100D 六自由度精密史都华平台
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六自由度并联式运动平台
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高精度 EtherCAT 全闭环控制
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适用于 SiPh、FAU 主动对位、影像伺服与精密组装
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支援 Screw Motion、区域扫描
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最大光量搜寻与影像回授(选配)
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产品概述
Updated: May 27, 2026
运动规格
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型号 |
GSS100D |
| 运动轴 | X、Y、Z、θX、θY、θZ |
| X、Y、Z 轴行程范围(mm) | ±16、±16、±6.5 |
| θX、θY、θZ 轴旋转的行程范围( ° ) | ±10、±10、±20 |
| X、Y、Z 轴最大速度(mm/s) | 10 |
| X、Y、Z 轴建议速度(mm/s) | 5 |
| θX、θY、θZ 轴旋转的最大角速度(mrad/s) | 200 |
| θX、θY、θZ 轴旋转的建议角速度(mrad/s) | 100 |
定位性能
| 最小解析度(nm) | 15 |
| X、Y、Z 轴最小增量移动(µm) | 1、1、0.5 |
| θX、θY、θZ 轴旋转的最小增量角(µrad) | 12、12、25 |
| X、Y、Z 轴重复定位精度(µm) | ±0.5、±0.5、±0.2 |
| θX、θY、θZ 轴旋转的角位移重复定位精度(µrad) | ±6、±6、±10 |
| X、Y、Z 轴背隙(µm) | 0.5、0.5、0.2 |
| θX、θY、θZ 轴旋转的背隙(µrad) | 5、5、10 |
机械特性
| 任意方向最大负载能力(kg) | 0.9 |
| 水平放置最大负载能力(kg) | 2.5 |
| 任意方向最大保持力(N) | 2.5 |
| 水平放置最大保持力(N) | 15 |
| 零点高度(mm) | 130.5 |
| 上平台直径(mm) | Φ100 |
| 底座平台直径(mm) | Φ136 |
控制器
| 控制轴数 | 6 |
| 马达控制方式 | EtherCAT 全闭环 |
| 通讯介面 | 乙太网路 / USB |
| 主控制板 | NEX-619 |
| Analog EtherCAT I/O | AMAX-4817 |
| 输入电压 | 80–264 VAC |
| 输入电流 | 4.2 A / 115 VAC |
| 控制器尺寸(mm) | 356*402.8*128.5 |
| 控制器重量(kg) | 8 |
| 控制器介面 | 专用电源／编码器介面、HDMI、USB 3.0、乙太网路、RS232、BNC |
软体功能
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功能分类 |
功能描述 |
| 标准功能 | 轴定速介面操控、点对点直线运动、Screw 运动、区域扫描轨迹 |
| 轨迹函式库 | 螺旋、回字型螺旋、正弦、三角波、锯齿波、方波、李沙育轨迹 |
| 选配功能 | 最大光量搜寻、混合模式最大光量搜寻、影像伺服控制 |
