次系統模組
GMT GSS100D 六自由度精密史都華平台
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六自由度並聯式運動平台
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高精度 EtherCAT 全閉環控制
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適用於 SiPh、FAU 主動對位、影像伺服與精密組裝
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支援 Screw Motion、區域掃描
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最大光量搜尋與影像回授(選配)
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產品概述
Updated: May 27, 2026
運動規格
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型號 |
GSS100D |
| 運動軸 | X、Y、Z、θX、θY、θZ |
| X、Y、Z 軸行程範圍(mm) | ±16、±16、±6.5 |
| θX、θY、θZ 軸旋轉的行程範圍( ° ) | ±10、±10、±20 |
| X、Y、Z 軸最大速度(mm/s) | 10 |
| X、Y、Z 軸建議速度(mm/s) | 5 |
| θX、θY、θZ 軸旋轉的最大角速度(mrad/s) | 200 |
| θX、θY、θZ 軸旋轉的建議角速度(mrad/s) | 100 |
定位性能
| 最小解析度(nm) | 15 |
| X、Y、Z 軸最小增量移動(µm) | 1、1、0.5 |
| θX、θY、θZ 軸旋轉的最小增量角(µrad) | 12、12、25 |
| X、Y、Z 軸重複定位精度(µm) | ±0.5、±0.5、±0.2 |
| θX、θY、θZ 軸旋轉的角位移重複定位精度(µrad) | ±6、±6、±10 |
| X、Y、Z 軸背隙(µm) | 0.5、0.5、0.2 |
| θX、θY、θZ 軸旋轉的背隙(µrad) | 5、5、10 |
機械特性
| 任意方向最大負載能力(kg) | 0.9 |
| 水平放置最大負載能力(kg) | 2.5 |
| 任意方向最大保持力(N) | 2.5 |
| 水平放置最大保持力(N) | 15 |
| 零點高度(mm) | 130.5 |
| 上平台直徑(mm) | Φ100 |
| 底座平台直徑(mm) | Φ136 |
控制器
| 控制軸數 | 6 |
| 馬達控制方式 | EtherCAT 全閉環 |
| 通訊介面 | 乙太網路 / USB |
| 主控制板 | NEX-619 |
| Analog EtherCAT I/O | AMAX-4817 |
| 輸入電壓 | 80–264 VAC |
| 輸入電流 | 4.2 A / 115 VAC |
| 控制器尺寸(mm) | 356*402.8*128.5 |
| 控制器重量(kg) | 8 |
| 控制器介面 | 專用電源／編碼器介面、HDMI、USB 3.0、乙太網路、RS232、BNC |
軟體功能
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功能分類 |
功能描述 |
| 標準功能 | 軸定速介面操控、點對點直線運動、Screw 運動、區域掃描軌跡 |
| 軌跡函式庫 | 螺旋、回字型螺旋、正弦、三角波、鋸齒波、方波、李沙育軌跡 |
| 選配功能 | 最大光量搜尋、混合模式最大光量搜尋、影像伺服控制 |
