产品资讯
XYZ 三轴运动模组
採用模组块堆叠方式组合,能依据客户需求,做多样式配置。
直驱模块搭配高刚性导轨和高性能驱动器,模组可达到百奈米级的重复和定位精度。
可广泛应用于光纤耦合、精密检测、半导体检测、IC封装设备、物件量测、微型工程等范围。
- 产品规格
- 技术资料
- 图面下载
共计2种型号
| 型号 | GNTXYZ-100-100-60 | GNTXYZ-160-160-60 |
|---|---|---|
| 询价 | 加入询价车 | 加入询价车 |
| X轴_负载 | Y+Z+10 kg | Y+Z+10 kg |
| X轴_行程 | 100 mm | 160 mm |
| X轴_定位精度/转角精度 | ± 0.3 µm | ± 0.3 µm |
| X轴_重复精度 | ± 0.15 µm | ± 0.15 µm |
| X轴_XY正交 | 15 are-sec | 15 are-sec |
| X轴_YZ正交 | -- | -- |
| X轴_连续推力 | 26.7 N | 26.7 N |
| X轴_瞬时推力 | 133.4 N | 133.4 N |
| X轴_连续电流 | 1.6 Arms | 1.6 Arms |
| X轴_瞬时电流 | 8 Arms | 8 Arms |
| X轴_线马电阻 | 8.3 ohms | 8.3 ohms |
| X轴_线马电感 | 1.8 mH | 1.8 mH |
| X轴_电气时间常数 | 0.21ms | 0.21ms |
| X轴_反电动势常数 | 13.9 V/(m/s) | 13.9 V/(m/s) |
| X轴_光学尺类别 | 增量,类比(20 nm) | 增量,类比(20 nm) |
| Y轴_负载 | Z+10 kg | Z+10 kg |
| Y轴_行程 | 100 mm | 160 mm |
| Y轴_定位精度/转角精度 | ± 0.3 µm | ± 0.3 µm |
| Y轴_重复精度 | ± 0.15 µm | ± 0.15 µm |
| Y轴_XY正交 | 15 are-sec | 15 are-sec |
| Y轴_YZ正交 | 15 are-sec | 15 are-sec |
| Y轴_连续推力 | 26.7 N | 26.7 N |
| Y轴_瞬时推力 | 133.4 N | 133.4 N |
| Y轴_连续电流 | 1.6 Arms | 1.6 Arms |
| Y轴_瞬时电流 | 8 Arms | 8 Arms |
| Y轴_线马电阻 | 8.3 ohms | 8.3 ohms |
| Y轴_线马电感 | 1.8 mH | 1.8 mH |
| Y轴_电气时间常数 | 0.21ms | 0.21ms |
| Y轴_反电动势常数 | 13.9 V/(m/s) | 13.9 V/(m/s) |
| Y轴_光学尺类别 | 增量,类比 (20 nm) | 增量,类比(20 nm) |
| Z轴_负载 | 10 kg | 10 kg |
| Z轴_行程 | 60 mm | 60 mm |
| Z轴_定位精度/转角精度 | ± 0.3 µm | ± 0.3 µm |
| Z轴_重复精度 | ± 0.15 µm | ± 0.15 µm |
| Z轴_XY正交 | -- | -- |
| Z轴_YZ正交 | 15 are-sec | 15 are-sec |
| Z轴_连续推力 | 26.7 N | 26.7 N |
| Z轴_瞬时推力 | 133.4 N | 133.4 N |
| Z轴_连续电流 | 1.6 Arms | 1.6 Arms |
| Z轴_瞬时电流 | 8 Arms | 8 Arms |
| Z轴_线马电阻 | 8.3 ohms | 8.3 ohms |
| Z轴_线马电感 | 1.8 mH | 1.8 mH |
| Z轴_电气时间常数 | 0.21ms | 0.21ms |
| Z轴_反电动势常数 | 13.9 V/(m/s) | 13.9 V/(m/s) |
| Z轴_光学尺类别 | 增量,类比(20 nm) | 增量,类比(20 nm) |