产品资讯
GPZ- S100. XYZ
★压电陶瓷堆叠驱动
★无摩擦柔顺结构导向
★内置电容传感器，闭环控制
★纳米级位置分辨率
★无摩擦柔顺结构导向
★内置电容传感器，闭环控制
★纳米级位置分辨率
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产品概述
更新日期：2026.04.30
基本规格
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工作环境 |
室温(选配真空) |
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外型尺寸(mm) |
35*35*42 |
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主体材料 |
不銹钢 |
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运动行程(mm) |
100 |
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线性误差度(%) |
0.02 |
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重复定位精度(nm) |
5 |
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运动解析度(闭环)(nm) |
0.5 |
|
运动解析度(开环)(nm) |
0.2 |
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刚性(N/μm ) |
0.6 |
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共振频率(Hz)，0负载(± 20%) |
X：490 / Y：480 / Z：350 |
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共振频率(Hz)，0.5 kg负载(± 20%) |
X：110 / Y：115 / Z：170 |
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最大负载(g) |
500 |
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位置传感器类型 |
电容式位置传感器 |
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线缆&接头 |
D-Sub 7W2 |
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控制器规格 |
MC-Archimedes.N 系列 |
型号
3ND2-S-100-XYZ-15-T1
