壓電模組系列
GPZ- S100. XYZ
★壓電陶瓷堆疊驅動
★無摩擦柔順結構導向
★內置電容傳感器，閉環控制
★納米級位置分辨率
★無摩擦柔順結構導向
★內置電容傳感器，閉環控制
★納米級位置分辨率
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產品概述
更新日期：2026.04.30
基本規格
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工作環境 |
室溫(選配真空) |
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外型尺寸(mm) |
35*35*42 |
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主體材料 |
不銹鋼 |
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運動行程(mm) |
100 |
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線性誤差度(%) |
0.02 |
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重複定位精度(nm) |
5 |
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運動解析度(閉環)(nm) |
0.5 |
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運動解析度(開環)(nm) |
0.2 |
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剛性(N/μm ) |
0.6 |
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共振頻率(Hz)，0負載(± 20%) |
X：490 / Y：480 / Z：350 |
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共振頻率(Hz)，0.5 kg負載(± 20%) |
X：110 / Y：115 / Z：170 |
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最大負載(g) |
500 |
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位置傳感器類型 |
電容式位置傳感器 |
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線纜&接頭 |
D-Sub 7W2 |
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控制器規格 |
MC-Archimedes.N 系列 |
型號
3ND2-S-100-XYZ-15-T1
