产品资讯
GPZ-LS35x.Lab
★纳⽶级位置控制
★百万次全⾏程CycleRun测试
★5nm最⼩步伐
★可⾃由堆叠组合
★百万次全⾏程CycleRun测试
★5nm最⼩步伐
★可⾃由堆叠组合
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产品概述
更新日期：2026.04.30
基本规格
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工作环境 |
室温(选配真空) |
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外型尺寸(mm) |
35*35*12 |
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主体材料 |
不銹钢 |
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运动行程(mm) |
20 |
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运动速度 |
0.1um/s~20mm/s |
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水平最大推力(N) |
2 |
|
保持力(N) |
3 |
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水平方向使用最大负载(kg) |
1 |
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垂直方向使用最大负载(g) |
100 |
|
双向位置重复精(nm) |
±100 |
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全⾏程俯仰/偏摆(mrad) |
0.3 |
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最小步伐(nm) |
5 |
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位置传感器 |
光学位置传感器 |
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位置传感器解析度(nm) |
2 |
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线缆&接头 |
D-Sub15(1m) |
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控制器规格 |
MC-Newton.S系列 |
型号
3ND2-LS-35-X-00-T1
