壓電模組系列
GPZ-LS35x.Lab
★納⽶級位置控制
★百萬次全⾏程CycleRun測試
★5nm最⼩步伐
★可⾃由堆疊組合
★百萬次全⾏程CycleRun測試
★5nm最⼩步伐
★可⾃由堆疊組合
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產品概述
更新日期：2026.04.30
基本規格
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工作環境 |
室溫(選配真空) |
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外型尺寸(mm) |
35*35*12 |
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主體材料 |
不銹鋼 |
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運動行程(mm) |
20 |
|
運動速度 |
0.1um/s~20mm/s |
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水平最大推力(N) |
2 |
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保持力(N) |
3 |
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水平方向使用最大負載(kg) |
1 |
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垂直方向使用最大負載(g) |
100 |
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雙向位置重複精(nm) |
±100 |
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全⾏程俯仰/偏擺(mrad) |
0.3 |
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最小步伐(nm) |
5 |
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位置傳感器 |
光學位置傳感器 |
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位置傳感器解析度(nm) |
2 |
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線纜&接頭 |
D-Sub15(1m) |
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控制器規格 |
MC-Newton.S系列 |
型號
3ND2-LS-35-X-00-T1
