产品资讯
GPZ-Free6D.3-2.150
★超安静运动
★断电位置保持
★内置高精度光学位置感测器
★纳米级位置分辨率
★并联驱动结构
★高刚性系统
★断电位置保持
★内置高精度光学位置感测器
★纳米级位置分辨率
★并联驱动结构
★高刚性系统
- 产品规格
- 技术资料
- 图面下载
产品概述
更新日期：2026.04.30
基本规格
|
工作环境 |
室温 |
|
外型尺寸(mm) |
Ø150*90 |
|
主体材料 |
铝合金 |
|
最大垂直负载(kg) |
1 |
|
中空孔径(mm) |
Ø40 |
|
运动行程 X，Y，Z(mm) |
± 10，± 10，± 5 |
|
运动行程 θX，θY ，Θz( ° ) |
± 9，± 8，± 14 |
|
单向重复精度 X，Y，Z(μm) |
± 0.15，± 0.15，± 0.1 |
|
单向重复精度 θX，θY，θZ(μrad) |
± 5，± 5 ，± 5 |
|
最小步伐 X，Y，Z(nm) |
10，10，10 |
|
最小步伐 θX，θY，θZ(μrad) |
1，1，1 |
|
传感器类型 |
光学位置感测器 |
|
位置传感器解析度(nm) |
2 |
|
线缆&接头 |
D-Sub15 |
|
控制器规格 |
MC-Free6D |
型号
3ND2-Free6D.3-2.150-15-T1
