壓電模組系列
GPZ-Free6D.3-2.150
★超安靜運動
★斷電位置保持
★內置高精度光學位置感測器
★納米級位置分辨率
★並聯驅動結構
★高剛性系統
★斷電位置保持
★內置高精度光學位置感測器
★納米級位置分辨率
★並聯驅動結構
★高剛性系統
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產品概述
更新日期：2026.04.30
基本規格
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工作環境 |
室溫 |
|
外型尺寸(mm) |
Ø150*90 |
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主體材料 |
鋁合金 |
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最大垂直負載(kg) |
1 |
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中空孔徑(mm) |
Ø40 |
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運動行程 X，Y，Z(mm) |
± 10，± 10，± 5 |
|
運動行程 θX，θY ，Θz( ° ) |
± 9，± 8，± 14 |
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單向重複精度 X，Y，Z(μm) |
± 0.15，± 0.15，± 0.1 |
|
單向重複精度 θX，θY，θZ(μrad) |
± 5，± 5 ，± 5 |
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最小步伐 X，Y，Z(nm) |
10，10，10 |
|
最小步伐 θX，θY，θZ(μrad) |
1，1，1 |
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傳感器類型 |
光學位置感測器 |
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位置傳感器解析度(nm) |
2 |
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線纜&接頭 |
D-Sub15 |
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控制器規格 |
MC-Free6D |
型號
3ND2-Free6D.3-2.150-15-T1
