直驅模組系列
XYZT四軸運動模組
針對半導體晶圓加工&檢測所設計的專用方案。
採用直驅馬達作為直接動力源，搭配高剛性交叉滾柱導軌。
使模組具備奈米級的穩態誤差及高速運動的能力。
模組化的設計，能依據客戶需求，做彈性的多樣式配置。
廣泛應用於光通訊、半導體精密檢測、視覺檢測、微型工程等 領域，為客戶提供高精度運動部件的方案。
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共計2種型號
| 型號 | GNTXYZT-200-200-5-30-0000 | GNTXYZT-300-300-10-360-0000 |
|---|---|---|
| 詢價 | 加入詢價車 | 加入詢價車 |
| XY軸_負載 | 5 Kg | 8 kg |
| XY軸_行程 | 200 x 200 mm | 300 x 300 mm |
| XY軸_定位精度/轉角精度 | ± 0.35 µm | ± 0.55 µm |
| XY軸_重複精度 | ± 0.2 µm | ± 0.2 µm |
| XY軸_單軸直線度 | ± 1.5 µm | ± 2.5 µm |
| XY軸_平面度 | ± 1.5 µm | ± 2.5 µm |
| XY軸_正交度 | 15 arc-sec | 15 arc-sec |
| XY軸_連續推力/連續力矩 | 48.8 N | 163.6 N |
| XY軸_瞬時推力/瞬時力矩 | 340 N | 1013.2 N |
| XY軸_最大速度 | 800 mm/s | 800 mm/s |
| XY軸_最大加速度 | 1 g | 1.5 g |
| XY軸_連續電流 | 4.4 Arms | 6.24 Arms |
| XY軸_瞬時電流 | 30.7 Arms | 38.6 Arms |
| XY軸_電阻 | 2.6 ohm | 2.4 ohm |
| XY軸_電感 | 0.35 H | 0.665 H |
| XY軸_模組重量 | 35 Kg | 83 Kg |
| XY軸_光學尺類別 | 增量,類比 | 增量,類比 |
| Z軸_負載 | 5 Kg | 8 kg |
| Z軸_行程 | 5 mm | 10 mm |
| Z軸_定位精度/轉角精度 | ± 0.25 µm | ± 0.35 µm |
| Z軸_重複精度 | ± 0.15 µm | ± 0.2 µm |
| Z軸_單軸直線度 | ± 1 µm | ± 2.5 µm |
| Z軸_平面度 | ± 1.5 µm | -- |
| Z軸_正交度 | -- | -- |
| Z軸_連續推力/連續力矩 | 24.4 N | 23 N |
| Z軸_瞬時推力/瞬時力矩 | 170 N | 170 N |
| Z軸_最大速度 | 75 mm/s | 5 mm/s |
| Z軸_最大加速度 | 0.7 g | 0.7 g |
| Z軸_連續電流 | 2.2 Arms | 2.2 Arms |
| Z軸_瞬時電流 | 15.351 Arms | 15.351 Arms |
| Z軸_電阻 | 5.2 ohm | 5.2 ohm |
| Z軸_電感 | 0.7 mH | 0.7 mH |
| Z軸_模組重量 | 35 Kg | 83 Kg |
| Z軸_光學尺類別 | 增量,類比 | 增量,類比 |
| T軸_負載 | 5 Kg | 8 kg |
| T軸_行程 | ± 15° | 360° |
| T軸_定位精度/轉角精度 | ± 2.5 arc-sec | ± 2.5 arc-sec |
| T軸_重複精度 | ± 1.5 arc-sec | ± 1.5 arc-sec |
| T軸_單軸直線度 | -- | -- |
| T軸_平面度 | -- | -- |
| T軸_正交度 | -- | -- |
| T軸_連續推力/連續力矩 | 3 N | 10 N |
| T軸_瞬時推力/瞬時力矩 | 10 N | 30 N |
| T軸_最大速度 | 2400°/s | 2400°/s |
| T軸_最大加速度 | 2400°/s^2 | 2400°/s^2 |
| T軸_連續電流 | 2.3 Arms | 3 Arms |
| T軸_瞬時電流 | 6.5 Arms | 18 Arms |
| T軸_電阻 | 4.4 ohm | 5 ohm |
| T軸_電感 | 5.8 mH | 10.5 mH |
| T軸_模組重量 | 35 Kg | 83 Kg |
| T軸_光學尺類別 | 增量,類比 | 增量,類比 |
型號
GNTXYZT-200-200-5-30-0000
GNTXYZT-300-300-10-360-0000
