产品资讯
XYZT四轴运动模组
针对半导体晶圆加工&检测所设计的专用方案。
採用直驱马达作为直接动力源，搭配高刚性交叉滚柱导轨。
使模组具备奈米级的稳态误差及高速运动的能力。
模组化的设计，能依据客户需求，做弹性的多样式配置。
广泛应用于光通讯、半导体精密检测、视觉检测、微型工程等 领域，为客户提供高精度运动部件的方案。
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共计2种型号
| 型号 | GNTXYZT-200-200-5-30-0000 | GNTXYZT-300-300-10-360-0000 |
|---|---|---|
| 询价 | 加入询价车 | 加入询价车 |
| XY轴_负载 | 5 Kg | 8 kg |
| XY轴_行程 | 200 x 200 mm | 300 x 300 mm |
| XY轴_定位精度/转角精度 | ± 0.35 µm | ± 0.55 µm |
| XY轴_重复精度 | ± 0.2 µm | ± 0.2 µm |
| XY轴_单轴直线度 | ± 1.5 µm | ± 2.5 µm |
| XY轴_平面度 | ± 1.5 µm | ± 2.5 µm |
| XY轴_正交度 | 15 arc-sec | 15 arc-sec |
| XY轴_连续推力/连续力矩 | 48.8 N | 163.6 N |
| XY轴_瞬时推力/瞬时力矩 | 340 N | 1013.2 N |
| XY轴_最大速度 | 800 mm/s | 800 mm/s |
| XY轴_最大加速度 | 1 g | 1.5 g |
| XY轴_连续电流 | 4.4 Arms | 6.24 Arms |
| XY轴_瞬时电流 | 30.7 Arms | 38.6 Arms |
| XY轴_电阻 | 2.6 ohm | 2.4 ohm |
| XY轴_电感 | 0.35 H | 0.665 H |
| XY轴_模组重量 | 35 Kg | 83 Kg |
| XY轴_光学尺类别 | 增量,类比 | 增量,类比 |
| Z轴_负载 | 5 Kg | 8 kg |
| Z轴_行程 | 5 mm | 10 mm |
| Z轴_定位精度/转角精度 | ± 0.25 µm | ± 0.35 µm |
| Z轴_重复精度 | ± 0.15 µm | ± 0.2 µm |
| Z轴_单轴直线度 | ± 1 µm | ± 2.5 µm |
| Z轴_平面度 | ± 1.5 µm | -- |
| Z轴_正交度 | -- | -- |
| Z轴_连续推力/连续力矩 | 24.4 N | 23 N |
| Z轴_瞬时推力/瞬时力矩 | 170 N | 170 N |
| Z轴_最大速度 | 75 mm/s | 5 mm/s |
| Z轴_最大加速度 | 0.7 g | 0.7 g |
| Z轴_连续电流 | 2.2 Arms | 2.2 Arms |
| Z轴_瞬时电流 | 15.351 Arms | 15.351 Arms |
| Z轴_电阻 | 5.2 ohm | 5.2 ohm |
| Z轴_电感 | 0.7 mH | 0.7 mH |
| Z轴_模组重量 | 35 Kg | 83 Kg |
| Z轴_光学尺类别 | 增量,类比 | 增量,类比 |
| T轴_负载 | 5 Kg | 8 kg |
| T轴_行程 | ± 15° | 360° |
| T轴_定位精度/转角精度 | ± 2.5 arc-sec | ± 2.5 arc-sec |
| T轴_重复精度 | ± 1.5 arc-sec | ± 1.5 arc-sec |
| T轴_单轴直线度 | -- | -- |
| T轴_平面度 | -- | -- |
| T轴_正交度 | -- | -- |
| T轴_连续推力/连续力矩 | 3 N | 10 N |
| T轴_瞬时推力/瞬时力矩 | 10 N | 30 N |
| T轴_最大速度 | 2400°/s | 2400°/s |
| T轴_最大加速度 | 2400°/s^2 | 2400°/s^2 |
| T轴_连续电流 | 2.3 Arms | 3 Arms |
| T轴_瞬时电流 | 6.5 Arms | 18 Arms |
| T轴_电阻 | 4.4 ohm | 5 ohm |
| T轴_电感 | 5.8 mH | 10.5 mH |
| T轴_模组重量 | 35 Kg | 83 Kg |
| T轴_光学尺类别 | 增量,类比 | 增量,类比 |
型号
GNTXYZT-200-200-5-30-0000
GNTXYZT-300-300-10-360-0000
