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直动型

CXS60 - 高阶精密型

CXS60 - 高阶精密型

轨道方式使用线性滚珠循环式,哥德式弧型构槽在本体的上、下滑轨面,各由双孤槽构成,单槽移动的钢球是二点接触的架构,双弧槽总共四个接触点,因此构成坚固的滑轨结构

传动方式-滚珠螺桿,透过钢珠在螺帽与螺桿之间做滚动接触,其定位精度与寿命较高,具备高速正逆向的传动及变换传动等特性

材质-不銹钢

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共计1种型号
型号 CXS60
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台面尺寸 (mm) 60*60
移动行程 (mm) 20、30、50
传动方式 滚珠螺桿Ø8,导程1mm
轨道 线性滚珠导引式
滑台材质 不銹钢
表面处理 镀无电解镍
精度等级 OP:高阶精密型
出线方向 N:一般出线
解析度(脉冲) (µm) M: 1 (Full);0.5 (Half)
解析度(脉冲) (µm) J: 2 (Full);1  (Half)
最高速度(全步级) (mm/sec) 15
单向定位精度 (µm) 5
反復定位精度(µm) ±0.5
多点反復定位精度(µm) A: 1.5 / B: 1 
荷重(水平安装)(Kgf) 8
空转(µm) 1
力矩刚性 仰俯0.085 / 横摆: 0.065 / 侧倾: 0.065 ("/N-cm)
仰俯 / 横摆 仰俯: 小于20" / 横摆: 小于15"
平行度 (µm) 20
运动真直度 (µm) 2
运动平行度 (µm) 10
马达_类型/出轴型式 M: 5相步进高解析马达 / ☐28双出轴
马达_类型/出轴型式 J: 5相步进马达 / ☐28双出轴
马达_厂牌/型号 J: 东方马达 / PKP523N12B
马达_厂牌/型号 M: 东方马达 / PKP523MN07B
驱动器厂牌/型号 东方 / 五相CVD系列(另外选购)
接头_滑台侧接头 15Pin公端连接器D-SUB / 12Pin公端连接器HRS
接头_控制器侧接头 15Pin母端连接器D-SUB(另外选购) / 12Pin母端连接器HRS(另外选购)
感测器_行程原点感测器 光电感测器GMT-sensor
感测器_行程极限感测器 光电感测器GMT-sensor
马达接近原点感测器 N / A
感测器_电源电压 24V±10%
感测器_控制输出 NPN 开放式集电极输出24V 8mA以下
感测器_输出控制 检测 (感应时):输出电晶体OFF (非导通)
产品概述

多点反復定位量测说明

♦   精度量测说明

1. 单向定位精度: 在预定检测的行程范围内,由一起始位置开始,向一定方向顺序做移动定位,检测其实际移动值与目标移动值之间的差值,并取其最大误差值,此值即为单向定位精度。
2. 多点反復定位精度: 预定检测的行程范围内,在机械程式执行时,反覆运行同一程序代码所得到的位置精度。计算反覆来回相同位置时,所产生的位置偏差,并取的两者间的偏差值。

♦   精度介绍说明

1. 已符合光纤耦合、半导体制程之轻度需求而设计GMT高阶精度检测方式。

2. GMT高阶精密直线滑台模组系列的检测採多点反復量测方式,即在固定行程范围内做多点数量测取点(点数多寡依行程长短做增减),并记录往返位置误差实际变化,追求高精度重现性。

3. 透过非接触式的雷射干涉仪量测,确保单向定位在10μm内、多点反復定位精度在1.5μm内。另有更高精度需求请与区域经销/业务团队洽询。




系统构成示意图

♦   连接线之详细规格请参阅滑台与连接线说明。

♦   驱动器之选用建议请参阅马达/驱动器对照表,或参阅GMT马达及驱动器目录之驱动器建议选用。

♦   驱动器为GMT所选的最佳搭配之常备品!若另有不同需求,请依实际所需功能自行选用适合的驱动器。



轴向定义

关于移动轴、转动轴名称的定义,GMT公司作如下图的定义:

水平方向为X、Y轴;垂直方向为Z轴;绕X、Y、Z轴的转动分别记作α轴、β轴、θ轴。

绿色指向标记,为该产品之运动轴向。

 

马达/驱动器对照表

两相步进马达/驱动器 对照表


步进马达/驱动器 建议替代搭载对照表

电器规格
步进马达/驱动器 规格对照表
电动滑台与连接线
电磁煞车型步进马达介绍
回授型步进马达介绍
直动滑台检测方式(X、Y轴)

型号

CXS6020-S2OP
CXS6030-S2OP
CXS6050-S2OP
基本规格
台面尺寸 (mm)
移动行程 (mm)
传动方式
轨道
滑台材质
表面处理
精度等级
出线方向
解析度(脉冲) (µm)
最高速度(全步级) (mm/sec)
单向定位精度 (µm)
反復定位精度(µm)
多点反復定位精度(µm)
荷重(水平安装)(Kgf)
空转(µm)
力矩刚性
仰俯 / 横摆
平行度 (µm)
运动真直度 (µm)
运动平行度 (µm)
马达_类型/出轴型式
马达_厂牌/型号
驱动器厂牌/型号
接头_滑台侧接头
接头_控制器侧接头
感测器_行程原点感测器
感测器_行程极限感测器
马达接近原点感测器
感测器_电源电压
感测器_控制输出
感测器_输出控制