次系统模组
OC02-XYZ-OC1-UVW-EW12-ET-BR 12轴自动耦光套装系统
‧ 通讯协议:EtherCAT
‧ 迴路型式:12轴-全闭迴
‧ 迴路型式:12轴-全闭迴
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产品概述
更新日期:2026.03.06
规格说明
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轴向 |
X轴 |
Y轴 |
Z轴 |
θx轴 |
θy轴 |
θz轴 |
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| 行程 |
50mm | 10mm | 50mm | ±5° | ±8.2° | ±6° | |
| 滚珠螺桿导程 |
1mm | 1mm | 1mm | 1mm | 1mm | 1mm | |
| 材质 |
不锈钢 | 不锈钢 | 不锈钢 | 铝合金 | 铝合金 | 铝合金 | |
| 表面处理 |
无电解镍 | 无电解镍 | 无电解镍 | 阳极黑色 | 阳极黑色 | 阳极黑色 | |
| 分解能 |
1μm(Full) / 0.5μm(Half) |
0.5μm(Full) / 0.25μm(Half) |
1μm(Full) / 0.5μm(Half) |
0.00055°(Full) / 0.000275°(Half) |
0.00125°(Full) / 0.000625°μm(Half) |
0.00071°(Full) / 0.000355°(Half) |
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| 单向定位精度 |
5μm | 5μm | 5μm | 0.02° | 0.02° | 0.02° | |
| 往復定位精度 |
±0.3μm | ±0.5μm | ±0.3μm | ±0.002° | ±0.002° | ±0.002° | |
| 空转 |
0.5μm | 0.5μm | 0.5μm | <0.002° | <0.002° | <0.002° | |
| 电机规格 | 马达 | PKP544MN18B | PKP544MN18B | PKP544MN18B | PKP523MN07B | PKP523MN07B | PKP523MN07B |
| 驱动器 | STP-K5231A (3轴合1) | STP-K5231A (3轴合1) | |||||
| 迴路型式 |
闭迴路 | 闭迴路 | |||||
| 光学尺规格 | 搭配Renishaw ATOM系列 解析度:0.02μm | 搭配Renishaw ATOM系列 解析度:0.1μm | |||||
| 光学尺补正往復定位精度 | ±0.1μm | ±0.2μm | ±0.1μm | ±0.001° | |||
| 通讯协定 |
EtherCAT | EtherCAT | |||||
相机、镜头模组
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轴向 |
X轴 |
Y轴 |
Z轴 |
θx轴 |
θy轴 |
θz轴 |
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| 水平向行程 |
±30mm | ±10mm | ±10mm | N/A | N/A | N/A | |
| 垂直向行程 | N/A | N/A | N/A | N/A | N/A | N/A | |
| 相机规格 |
ALN-TEC-M20110MP 八百万画素CCD USB3.0 (含 USB-CABLE-3M-T&6P-B-USB-TRI-3M) | ||||||
| 镜头规格 | A2A2840-48UCBAS 2/3" 2MP WD:110mm 2X非同轴 | ||||||
其他配件
| 麵包板 | 700㎜*450㎜*16㎜ (厚) | |
| 上位控制器 |
431㎜ * 460㎜ *222㎜ | |
| 软体模组 | 专用套装软体 型号:AMC01 名称:对位运动控制软体 | |