對位平台
GAS00-160VC1 系列平台模組
★ 超薄型、輕量化平台-採用 Mini stage Xyθ 模組化結構,實現無中座的薄且輕的機構
★ 透過特殊交叉滾柱軸承施加預壓,達高剛性、高精度表現
★ 中空結構設計,可作為光學式檢查裝置或導通測試器使用
★ 在各運動軌道加入潤滑系統,提高對位平台使用的壽命及精度
★ 材料皆經超深冷處理,有效預防變型,大幅提升使用壽命,品質及效能
★ 實行三次元全檢,保證滑台出廠精度與品質
★ 透過特殊交叉滾柱軸承施加預壓,達高剛性、高精度表現
★ 中空結構設計,可作為光學式檢查裝置或導通測試器使用
★ 在各運動軌道加入潤滑系統,提高對位平台使用的壽命及精度
★ 材料皆經超深冷處理,有效預防變型,大幅提升使用壽命,品質及效能
★ 實行三次元全檢,保證滑台出廠精度與品質
- 產品規格
- 技術資料
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共計1種型號
| 型號 | GAS00-160VC1 |
|---|---|
| 詢價 | 加入詢價車 |
| 工作台尺寸(mm) | 160*160 |
| 基座尺寸(mm) | 170*170 |
| 高度(mm) | 55 |
| 行程(mm) | ±9x±9 |
| 角度(日) | ±8.5 |
| 工作台材質/表面處理 | 碳鋼/表面黑色處理 |
| 基座材質/表面處理 | 碳鋼/表面黑色處理 |
| 螺桿規格 | U6xP1 |
| 水平負載能力(kgf) | 120 |
| 反復定位精度(um) | UP:+1 / P:+5 |
| 平行度(um) | 0.03 |
| 馬達廠牌/類型 | 東方5相步進馬達/GMT2相步進馬達 |
| 馬達出軸/型號 | 口28(PKP523N12B/2MS-N28D32A) |
| 建議使用驅動器廠牌/型號 | 東方/CVD512-K ;P級為選購,請洽業務 |