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直動型

CXS50 - 高階精密型

CXS50 - 高階精密型

軌道方式使用線性滾珠循環式,哥德式弧型構槽在本體的上、下滑軌面,各由雙孤槽構成,單槽移動的鋼球是二點接觸的架構,雙弧槽總共四個接觸點,因此構成堅固的滑軌結構

傳動方式-滾珠螺桿,透過鋼珠在螺帽與螺桿之間做滾動接觸,其定位精度與壽命較高,具備高速正逆向的傳動及變換傳動等特性

材質-不銹鋼

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共計1種型號
型號 CXS50
詢價 加入詢價車
台面尺寸 (mm) 50*50
移動行程 (mm) 20、30
傳動方式 滾珠螺桿Ø8,導程1mm
軌道 線性滾珠導引式
滑台材質 不銹鋼
表面處理 鍍無電解鎳
精度等級 OP:高階精密型
出線方向 N:一般出線
解析度(脈衝) (µm) M: 1 (Full);0.5 (Half)
解析度(脈衝) (µm) J: 2 (Full);1  (Half)
最高速度(全步級) (mm/sec) 15
單向定位精度 (µm) 5
反復定位精度(µm) ±0.5
多點反復定位精度(µm) A: 1.5 / B: 1 
荷重(水平安裝)(Kgf) 6
空轉(µm) 1
力矩剛性 仰俯0.11 / 橫擺: 0.09 / 側傾: 0.09 ("/N-cm)
仰俯 / 橫擺 仰俯: 小於20" / 橫擺: 小於15"
平行度 (µm) 15
運動真直度 (µm) 2
運動平行度 (µm) 10
馬達_類型/出軸型式 M: 5相步進高解析馬達 / ☐28雙出軸
馬達_類型/出軸型式 J: 5相步進馬達 / ☐28雙出軸
馬達_廠牌/型號 J: 東方馬達 / PKP523N12B
馬達_廠牌/型號 M: 東方馬達 / PKP523MN07B
驅動器廠牌/型號 東方 / 五相CVD系列(另外選購)
接頭_滑台側接頭 15Pin公端連接器D-SUB / 12Pin公端連接器HRS
接頭_控制器側接頭 15Pin母端連接器D-SUB(另外選購) / 12Pin母端連接器HRS(另外選購)
感測器_行程原點感測器 光電感測器GMT-sensor
感測器_行程極限感測器 光電感測器GMT-sensor
馬達接近原點感測器 N / A
感測器_電源電壓 24V±10%
感測器_控制輸出 NPN 開放式集電極輸出24V 8mA以下
感測器_輸出控制 檢測 (感應時):輸出電晶體OFF (非導通)
產品概述

多點反復定位量測說明

♦   精度量測說明

1. 單向定位精度: 在預定檢測的行程範圍內,由一起始位置開始,向一定方向順序做移動定位,檢測其實際移動值與目標移動值之間的差值,並取其最大誤差值,此值即為單向定位精度。
2. 多點反復定位精度: 預定檢測的行程範圍內,在機械程式執行時,反覆運行同一程序代碼所得到的位置精度。計算反覆來回相同位置時,所產生的位置偏差,並取的兩者間的偏差值。

♦   精度介紹說明

1. 已符合光纖耦合、半導體製程之輕度需求而設計GMT高階精度檢測方式。

2. GMT高階精密直線滑台模組系列的檢測採多點反復量測方式,即在固定行程範圍內做多點數量測取點(點數多寡依行程長短做增減),並記錄往返位置誤差實際變化,追求高精度重現性。

3. 透過非接觸式的雷射干涉儀量測,確保單向定位在10μm內、多點反復定位精度在1.5μm內。另有更高精度需求請與區域經銷/業務團隊洽詢。




系統構成示意圖

♦   連接線之詳細規格請參閱滑台與連接線說明。

♦   驅動器之選用建議請參閱馬達/驅動器對照表,或參閱GMT馬達及驅動器目錄之驅動器建議選用。

♦   驅動器為GMT所選的最佳搭配之常備品!若另有不同需求,請依實際所需功能自行選用適合的驅動器。



軸向定義

關於移動軸、轉動軸名稱的定義,GMT公司作如下圖的定義:

水平方向為X、Y軸;垂直方向為Z軸;繞X、Y、Z軸的轉動分別記作α軸、β軸、θ軸。

綠色指向標記,為該產品之運動軸向。

 

馬達/驅動器對照表

兩相步進馬達/驅動器 對照表


步進馬達/驅動器 建議替代搭載對照表

電器規格
步進馬達/驅動器 規格對照表
電動滑台與連接線
電磁煞車型步進馬達介紹
回授型步進馬達介紹
直動滑台檢測方式(X、Y軸)

型號

CXS5020-S2OP
CXS5030-S2OP
基本規格
台面尺寸 (mm)
移動行程 (mm)
傳動方式
軌道
滑台材質
表面處理
精度等級
出線方向
解析度(脈衝) (µm)
最高速度(全步級) (mm/sec)
單向定位精度 (µm)
反復定位精度(µm)
多點反復定位精度(µm)
荷重(水平安裝)(Kgf)
空轉(µm)
力矩剛性
仰俯 / 橫擺
平行度 (µm)
運動真直度 (µm)
運動平行度 (µm)
馬達_類型/出軸型式
馬達_廠牌/型號
驅動器廠牌/型號
接頭_滑台側接頭
接頭_控制器側接頭
感測器_行程原點感測器
感測器_行程極限感測器
馬達接近原點感測器
感測器_電源電壓
感測器_控制輸出
感測器_輸出控制