對位平台
GAU12 系列小模組
★ 超薄型、輕量化平臺-採用Mini stage Xyθ模組化結構，實現無中座的薄且輕的機構
★ 透過特殊交叉滾柱軸承施加預壓，達高剛性、高精度表現
★ 中空結構設計，可作為光學式檢查裝置或導通測試器使用
★ 在各運動軌道加入潤滑系統，提高對位平臺使用的壽命及精度
★ 材料皆經超深冷處理，有效預防變型，大幅提升使用壽命，品質及效能
★ 實行三次元全檢，保證滑台出廠精度與品質
★ 透過特殊交叉滾柱軸承施加預壓，達高剛性、高精度表現
★ 中空結構設計，可作為光學式檢查裝置或導通測試器使用
★ 在各運動軌道加入潤滑系統，提高對位平臺使用的壽命及精度
★ 材料皆經超深冷處理，有效預防變型，大幅提升使用壽命，品質及效能
★ 實行三次元全檢，保證滑台出廠精度與品質
