GAS00系列

★ 超薄型、輕量化平台-採用Mini stage Xyθ模組化結構,實現無中座的薄且輕的機構
★ 透過特殊交叉滾柱軸承施加預壓,達高剛性、高精度表現
★ 中空結構設計,可作為光學式檢查裝置或導通測試器使用
★ 在各運動軌道加入潤滑系統，提高對位平台使用的壽命及精度
★ 材料皆經超深冷處理,有效預防變型,大幅提升使用壽命,品質及效能
★ 實行三次元全檢,保證滑台出廠精度與品質

★ GAS00-200HC：中央支撐模組有方向性限制，若平台需倒吊使用需提前告知，避免支撐模組發生異常

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Update：2023.11.07

型號	GAS00-160LC-PN	GAS00-160LC-UPJ	GAS00-160EC-PN	GAS00-160VC1-PN	GAS00-160VC1-UPJ	GAS00-190EC-PN	GAS00-190EC-UPJ	GAS00-190HC-PN	GAS00-190HC-UPJ	GAS00-200HC-PN	GAS00-200HC-UPJ
工作台尺寸 (mm)	160x160	160x160	160x160	160x160	160x160	190x190	190x190	190x190	190x190	200x200	200x200
基座尺寸 (mm)	170x170	170x170	170x170	170x170	170x170	210x210	210x210	210x210	210x210	210x210	210x210
高度 (mm)	50	50	50	55	55	65	65	65	65	60	60
行程 (mm)	±3x±3	±3x±3	±3x±3	±9x±9	±9x±9	±4x±4	±4x±4	±4x±4	±4x±4	±7x±7	±7x±7
角度 (θ)°	±2°	±2°	±2°	±8.5°	±8.5°	±3°	±3°	±3°	±3°	±3°	±3°
工作台材質	碳鋼	碳鋼	碳鋼	碳鋼	碳鋼	碳鋼	碳鋼	碳鋼	碳鋼	碳鋼	碳鋼
表面處理	表面黑色處理	表面黑色處理	表面黑色處理	表面黑色處理	表面黑色處理	表面黑色處理	表面黑色處理	表面黑色處理	表面黑色處理	表面黑色處理	表面黑色處理
基座材質	杜拉鋁	杜拉鋁	杜拉鋁	碳鋼	碳鋼	杜拉鋁	杜拉鋁	杜拉鋁	杜拉鋁	杜拉鋁	杜拉鋁
基座表面處理	黑色陽極處理	黑色陽極處理	黑色陽極處理	表面黑色處理	表面黑色處理	黑色陽極處理	黑色陽極處理	黑色陽極處理	黑色陽極處理	黑色陽極處理	黑色陽極處理
螺桿規格	Ø6-P1	Ø6-P1	Ø6-P1	Ø6-P1	Ø6-P1	Ø6-P1	Ø6-P1	Ø6-P1	Ø6-P1	Ø8-P1	Ø8-P1
動態負載能力 (kgf)	30	30	30	30	30	30	30	30	30	60	60
靜態負載能力 (kgf)	60	60	60	120	120	60	60	65	65	130	130
反覆定位精度 (μm)	±5	±1	±5	±5	±1	±5	±1	±5	±1	±5	±1
平行度 (μm)	30	30	30	30	30	30	30	30	30	30	30
馬達廠牌	GMT	東方	GMT	GMT	東方	GMT	東方	GMT	東方	GMT	東方
馬達類型	2相步進	5相步進	2相步進	2相步進	5相步進	2相步進	5相步進	2相步進	5相步進	2相步進	5相步進
馬達出軸	□28雙出軸	□28雙出軸	□28雙出軸	□28雙出軸	□28雙出軸	□28雙出軸	□28雙出軸	□28雙出軸	□28雙出軸	□42雙出軸	□42雙出軸
馬達型號	2MS- N28D32 A	PKP523 N12B	2MS- N28D32 A	2MS- N28D32 A	PKP523 N12B	2MS- N28D32 A	PKP523 N12B	2MS- N28D32 A	PKP523 N12B	2MS- N42D47 A	PKP544 N18B
驅動器廠牌	請洽業務	東方	請洽業務	請洽業務	東方	請洽業務	東方	請洽業務	東方	請洽業務	東方
驅動器型號	請洽業務	CVD512 -K	請洽業務	請洽業務	CVD512 -K	請洽業務	CVD512 -K	請洽業務	CVD512 -K	請洽業務	CVD518 -K

特性介绍

♦ 採用了劃时代性模组结構的超薄型平台

在基座、工作台之间的四端平面裝上组合了MINI STAGE XYθ軸滑台组和特殊交叉滚柱轴承的模组之独特性，實现了超薄型結構。

♦ 高刚性、高精度

對於構成模组的MINI STAGE XYθ軸滑台组的特殊交叉滚柱施加了預壓，達到高精度、高剛性的結構。

♦ 超薄型、輕量化、中空結構

採用XYθ模组化結構，實現了無中座、薄而輕的機構，可作為光學式檢查裝置或導通測試时使用。

♦ 潤滑系統

在各種運動軌道加入潤滑系统，確保潤滑脂補充，提高對位平台使用的壽命及精度。

♦ 尺寸齊全適用各種機型運用

工作台面尺寸口160mm~口1500mm，为了可以對應更大的精度荷載，可藉由增加從動模组之數量来達成。

產業應用介绍

♦ 面板貼合機

♦ 面板貼膜機

♦ 網版及3D網版印刷

♦ 玻璃側角及磨邊設備

♦ Wafe對位設備

♦ P.C.D曝光設備

♦ 軟體裁切設備

♦ 半導體設備

GAS00系列

結構說明

動作原理

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