♦ 精度測量說明 1.單向定位精度:在預定的偵測行程範圍內,從某一起始位置開始,依序沿某一方向移動並定位,偵測實際 移動值與目標移動值之間的差值,取其中最大誤差值。該值即為單向定位精度。 2.多點重複定位精度:在預定的偵測行程範圍內,執行機械程式時,重複執行相同程式碼所獲得的位置精確度 。計算在同一位置來回重複移動時產生的位置偏差,並得出兩者之間的偏差值。 ♦ 精準引進 1.設計GMT高精度偵測方法,滿足光纖耦合及半導體製造製程的精度要求。 2.GMT高階精密線性滑軌模組系列的偵測採用多點重複測量,即在固定的行程範圍內進行多點量測量(點量 根據行程長度而增加或減少),並記錄往返位置誤差的實際變化,追求較高的精度與重複性。 3.透過非接觸雷射干涉儀測量,確保單向定位精度在10μm以內,多點重複定位精度在1.5μm以內。如果需要更高的精度和精確度,請聯絡區域銷售/業務團隊。 .jpg)
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