類別 | 項目 | 規格參數 |
| 設備尺寸及動力 | 輸入電力 | 220V 50/60Hz |
| 壓縮空氣 | 壓縮空氣量>500PM; 供氣系統壓力0.4MPa~0.8MPa |
| 真空設備 | 真空泵保證真空度-53 ~ -100kPa以上 |
| 環境要求 | 溫度: 22 ±2 °C ;相對濕度: 60% @22°C; 無塵室等級: Class 10k |
| 尺寸要求 | 1660mm×1610mm×1550mm |
| 設備重量 | 1500kg |
| 設備安規 | 產品安全防護 | 產品接觸接地處理 |
| ESD防護 | 離子風機除靜電 |
| 軟件防護 | 防呆設計 |
| 設備防護 | 設備軸程限位+距離感測，防碰撞 |
| 操作員安全防護 | 護目鏡 |
運動與定位系統
(粗略定位) | 控制軸數 | 雙6軸 |
| 工件夾持方式 | 氣動夾爪、真空吸嘴固定 |
解析度
XYZ驅動形式 | ±0.05μm
步進電機+螺桿 |
| XYZ運動行程 | ±15mm |
| 最大運動速度 | 15mm/s |
運動與定位系統
(精細定位) | 控制軸向 | XYZ |
| 解析度 | 2nm |
| 雙向重複性(10%移動範圍) | 5nm |
| 對準系統 | 掃描時間-螺旋區域10 µm | <0.5s |
| 掃描時間-梯度±5 µm | <0.3s |
| 重複性 | 0.02 dB |
| Z軸距感測系統 | 感應範圍 | 2.4mm |
| 解析度 | 24nm |
顯微鏡運動系統
| 運動行程 | XY軸 50mm; Z軸 127mm |
| 解析度 | 1μm |
| 重複性 | ±3μm |
探針台系統
(XYZ平台)
| 運動行程 | X軸350mm; Y軸 365mm; Z軸 20mm |
| 解析度 | 0.1μm |
| 重複性 | ±1μm |
| 精度 | ±2μm |
探針台系統
(Theta平台) | 運動行程 | ±10° |
| 解析度 | 0.0001° |
| 重複性 | 0.0005° |
| 精度 | 0.001° |
| 晶片卡盤 | 直徑 | 310mm |
| 表面平整度 | ±10μm |
| 支援待測物尺寸 | single DUT ,2 ,4, 6 ,8 ,12 inch |
| 溫控系統 | 溫度可控範圍 | 建議使用範圍 -40°C 至 100°C, 最高可至300°C |
| 升降溫速率 | 升溫: -40°C to 25°C < 30 min; 25°C to 300°C < 50 min
降溫: 300°C to 25°C < 60min; 25°C to -40°C <60 min |
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