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<span style="font-size: 12pt;">★ 由XYZ三軸精密定位滑台模組,搭配一傾斜滑台模組形五軸式的複合功能精密滑台組,適用於單芯對位</span> <br /><span style="font-size: 12pt;">★ 單獨拆解模組選購型號 - M5E-2000B-L-[XYZ模組-MXYZ60-ACSL、傾斜滑台模組-MTR60-45L]</span>">
Update:2022.7.20
型號 | M5E-2000B-L | ||||||
規 格 說 明 | 軸向 | X | Y | Z | θx | θy | |
行程 | 粗調 | ± 6.5 mm | ± 6.5 mm | ± 6.5 mm | ± 3 ° | ± 3 ° | |
微調 | ± 0.3 mm | ± 0.3 mm | ± 0.3 mm | ||||
精度 | 粗調 | 10 µm | 10 µm | 10 µm | ≒ 29.3" / 刻度 | ≒ 27.8" / 刻度 | |
微調 | 0.5 µm | 0.5 µm | 0.5 µm |
滑台進給位置 |
滑台軌道特性說明 |
滑台主要進給方式 |