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    GAU05系列


    ★ 超薄型、輕量化平臺-採用Mini stage Xyθ模組化結構,實現無中座的薄且輕的機構
    ★ 透過特殊交叉滾柱軸承施加預壓,達高剛性、高精度表現
    ★ 中空結構設計,可作為光學式檢查裝置或導通測試器使用
    ★ 在各運動軌道加入潤滑系統,提高對位平臺使用的壽命及精度
    ★ 材料皆經超深冷處理,有效預防變型,大幅提升使用壽命,品質及效能
    ★ 實行三次元全檢,保證滑台出廠精度與品質
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    GAU05-RSD

    ±5x±5

    117

    GAU05-RSS

    ±5x±5

    117

    GAU05-CCD

    ±5x±5

    64

    GAU05-CCS

    ±5x±5

    64