♦ 精度量測說明 1. 單向定位精度: 在預定檢測的行程範圍內,由一起始位置開始,向一定方向順序做移動定位,檢測其實際移動值與目標移動值之間的差值,並取其最大誤差值,此值即為單向定位精度。 2. 多點反復定位精度: 預定檢測的行程範圍內,在機械程式執行時,反覆運行同一程序代碼所得到的位置精度。計算反覆來回相同位置時,所產生的位置偏差,並取的兩者間的偏差值。 ♦ 精度介紹說明 1. 已符合光纖耦合、半導體製程之輕度需求而設計GMT高階精度檢測方式。 2. GMT高階精密直線滑台模組系列的檢測採多點反復量測方式,即在固定行程範圍內做多點數量測取點(點數多寡依行程長短做增減),並記錄往返位置誤差實際變化,追求高精度重現性。 3. 透過非接觸式的雷射干涉儀量測,確保單向定位在10μm內、多點反復定位精度在1.5μm內。另有更高精度需求請與區域經銷/業務團隊洽詢。 .jpg)
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