★ 小型化設計:驅動器體積縮小化,節省配盤配線的空間。 ★ 低電壓直流電輸入24~48V範圍入電。 ★ 具有多樣化控制模式: 脈衝控制模式、通訊控制模式、PIO模式。 ★ 具有絕對精度校正Error Map功能:搭配光學尺輸入,經雷射干涉儀校正,提高滑台絕對定位精度。 ★ 二自由度控制:提高跟隨響應與抗干擾。 ★ 4組低頻制震、4組凹陷濾波器:設定後改善機構高頻噪音與震動。
★DKM伺服馬達(Servo Motor)驅動器:搭載23-bit 絕對型編碼器AC伺服馬達,擁有高解析與高定位精度這樣。
★DKL線性馬達(Linear Motor)驅動器:搭載線性馬達與搭配外部光學尺(ABZ),達到閉迴路控制的需求。
★DKD直驅馬達(DD Motor)驅動器:搭載19-bit 多圈絕對型編碼器的直驅電機,能夠控制多圈運行與位置控制。