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AXYR 3軸一体式精密電動ステージ


3軸一体化設計:
★高剛性、低エネルギー消費、幅広い使用、容易な制御
特性:
★低負荷スペース設計、高トルク剛性、ボールねじ駆動長寿命
特許:
★従来の方法で生じる問題を解決する角度調整機能付き精密 ステージ

更新日期:2018.10.12

 型番 AXYR60-A2PR-ND AXYR80-A2PR-ND AXYR120-A2PR-ND
AXYR60-A2PL-ND AXYR80-A2PL-ND AXYR120-A2PL-ND
テーブル寸法 Ø60 Ø80 Ø120
ストローク X軸 ±7.5mm ±12mm ±15mm
ストローク Y軸 ±7.5mm ±12mm ±15mm
ストローク θ軸 ±8.5° ±10°
送り方法 ねじ伝動
ガイドXY軸 クロスローラーガイド式
ガイドθ軸 クロスローラベアリング
ステージ材質 / 表面処理 アルミ合金 / 黒色陽極処理
精度等級 P:精密型 / UP:超精密型
モーター方向 R:右側設置 / L:左側設置
XY軸 分解能 (パルス) Full/Half 5μm / 2.5μm
θ軸 分解能 (パルス) Full/Half 0.0056°/0.0028° 0.0047°/0.0023° 0.0034°/0.0017°
XY軸 最高速度 (フルステップレベル) 10mm/sec
θ軸 最高速度 (フルステップレベル) 8°/sec
XY軸 一方向位置決め精度 10μm
XY軸 繰返し位置決め精度 ±1μm
θ軸 一方向位置決め精度 0.05°
θ軸 繰返し位置決め精度 ±0.01°
荷重 6kgf 10kgf 25kgf
XY軸空転 2μm
θ軸空転 0.01°

更新日期:2018.10.12

 型番 AXYR60-A2PR-ND AXYR80-A2PR-ND AXYR120-A2PR-ND
AXYR60-A2PL-ND AXYR80-A2PL-ND AXYR120-A2PL-ND
テーブル寸法 Ø60 Ø80 Ø120
ストローク X軸 ±7.5mm ±12mm ±15mm
ストローク Y軸 ±7.5mm ±12mm ±15mm
ストローク θ軸 ±8.5° ±10°
送り方法 ねじ伝動
ガイドXY軸 クロスローラーガイド式
ガイドθ軸 クロスローラベアリング
ステージ材質 / 表面処理 アルミ合金 / 黒色陽極処理
精度等級 P:精密型 / UP:超精密型
モーター方向 R:右側設置 / L:左側設置
XY軸 分解能 (パルス) Full/Half 5μm / 2.5μm
θ軸 分解能 (パルス) Full/Half 0.0056°/0.0028° 0.0047°/0.0023° 0.0034°/0.0017°
XY軸 最高速度 (フルステップレベル) 10mm/sec
θ軸 最高速度 (フルステップレベル) 8°/sec
XY軸 一方向位置決め精度 10μm
XY軸 繰返し位置決め精度 ±1μm
θ軸 一方向位置決め精度 0.05°
θ軸 繰返し位置決め精度 ±0.01°
荷重 6kgf 10kgf 25kgf
XY軸空転 2μm
θ軸空転 0.01°
商品の規格
型番 AXYR